Phase distinction in semi-insulating polycrystalline silicon by pattern recognition of X-ray photoelectron spectroscopy/X-ray-induced Auger electron spectroscopy data
Bibliographic record
Abstract
No abstract is available for this record. The assistant can identify its topic from the title, but cannot infer the study’s results.
Source: Not provided · Quality: missing
Research context
OpenAlex topics: Electron and X-Ray Spectroscopy Techniques · Surface and Thin Film Phenomena · Semiconductor materials and devices
SciVX discovery tags are terminology-based. OpenAlex topics are source-provided classifications.
References (39)
Show source-provided references
1. Matsushita · IEEE Trans. · 1976 · ED 23 · 82610.1109/T-ED.1976.18494 ↗
2. W. Waldvogel, M. Oh. Lax-Stainer, E. Bucker, A.E. Wider, R. Fehlmann, Proc. 90th E.C. POSE, Freibug, Germany, 1989, p. 757.
3. Wait · Photo. Sci. Eng. · 1982 · 26 · 183
4. Lombardo · Mater. Sci. Eng. R · 1996 · 17 · 28110.1016/S0927-796X(96)00193-3 ↗
5. Iwata · J. Appl. Phys. · 1996 · 79 · 665310.1063/1.362676 ↗
6. Kragler · Appl. Phys. A · 1994 · 58 · 7710.1007/BF00331521 ↗
7. Hseih · J. Appl. Phys. · 1990 · 67 · 249410.1063/1.345500 ↗
8. Bruesh · J. Appl. Phys. · 1993 · 73 · 767710.1063/1.353965 ↗
9. Bruesch · J. Appl. Phys. · 1993 · 73 · 769010.1063/1.353966 ↗
10. Lombardo · Phys. Rev. B · 1993 · 47 · 1356110.1103/PhysRevB.47.13561 ↗
11. Lombardo · Appl. Phys. Lett. · 1993 · 63 · 47010.1063/1.110027 ↗
12. Suchaneck · J. Non-Cryst. Solids · 1995 · 187 · 8610.1016/0022-3093(95)00117-4 ↗
13. Trchova · J. Appl. Phys. · 1997 · 82 · 351910.1063/1.365670 ↗
14. Chao · J. Electrochem. Soc. · 1993 · 140 · 264510.1149/1.2220878 ↗
15. Liday · Appl. Surf. Sci. · 1996 · 99 · 910.1016/0169-4332(95)00452-1 ↗
16. Lang · Surf. Interf. Anal. · 1993 · 20 · 82710.1002/sia.740201005 ↗
17. Dehan · Jpn. J. Appl. Phys. · 1995 · 34 · 466610.1143/JJAP.34.4666 ↗
18. Shallenberger · J. Vac. Sci. Technol. A · 1996 · 14 · 69310.1116/1.580373 ↗
19. Iacona · J. Vac. Sci. Technol. B · 1996 · 14 · 398710.1116/1.589006 ↗
20. Brunson · Phil. Mag. B · 1990 · 61 · 36110.1080/13642819008208640 ↗
21. Maxwell · J. Electrochem. Soc. · 1981 · 128 · 57610.1149/1.2127461 ↗
22. Raider · IBM J. Res. Dev. · 1978 · 22 · 29410.1147/rd.223.0294 ↗
23. F.J. Grunthaner, J. Maserjian, The Physics of SiO2 and its Interfaces, Pergamon, New York, 1979, p. 389.10.1016/B978-0-08-023049-8.50072-5 ↗
24. Tsu · Phys. Rev. B · 1989 · 40 · 179510.1103/PhysRevB.40.1795 ↗
25. Della Sala · J. Electrochem. Soc. · 1990 · 137 · 255010.1149/1.2086987 ↗
26. Zemek · Appl. Surf. Sci. · 1993 · 70/71 · 29910.1016/0169-4332(93)90446-I ↗
27. Zemek · Surf. Interf. Anal. · 1994 · 21 · 77110.1002/sia.740211106 ↗
28. Jablonski · Surf. Interf. Anal. · 1994 · 21 · 72410.1002/sia.740211008 ↗
29. P.A. Devijver, J. Kittler (Eds.), Pattern Recognition: a Statistical Approach, Prentice-Hall, London, 1982.
30. Lesiak · Surf. Interf. Anal. · 1986 · 6 · 12110.1002/sia.740080304 ↗
31. Lesiak · Surf. Sci. · 1996 · 346 · 7910.1016/0039-6028(95)00918-3 ↗
32. S.K. Pal, D.K. Dutta Najumder (Eds.), Fuzzy Mathematical Approach to Pattern Recognition, Halsted, Wiley, New York, 1986.
33. Jozwik · Pattern Recognition Lett. · 1983 · 1 · 28710.1016/0167-8655(83)90064-8 ↗
34. Bezdek · Fuzzy Sets and Systems · 1986 · 18 · 23710.1016/0165-0114(86)90004-7 ↗
35. Shirley · Phys. Rev. B · 1972 · 5 · 470910.1103/PhysRevB.5.4709 ↗
36. J.F. Moulder, W.F. Sticke, P.E. Sobol, K.D. Bomben, Handbook of X-ray Photoelectron Spectroscopy, Perkin Elmer, 1992.
37. Band · At. Data Nucl. Data Tables · 1979 · 23 · 44310.1016/0092-640X(79)90027-5 ↗
38. Tanuma · Surf. Interf. Anal. · 1988 · 11 · 57710.1002/sia.740111107 ↗
39. Jiricek · Czech. J. Phys. · 1994 · 44 · 26110.1007/BF01694490 ↗