AES analysis of nitridation of Si(100) by 2–10 keV N+2 ion beams
Bibliographic record
Abstract
No abstract is available for this record. The assistant can identify its topic from the title, but cannot infer the study’s results.
Source: Not provided · Quality: missing
Research context
OpenAlex topics: Semiconductor materials and devices · Ion-surface interactions and analysis · Integrated Circuits and Semiconductor Failure Analysis
SciVX discovery tags are terminology-based. OpenAlex topics are source-provided classifications.
References (35)
Show source-provided references
1. Morosanu · Thin Solid Films · 1980 · 65 · 17110.1016/0040-6090(80)90254-0 ↗
2. Powell · Appl. Phys. Lett. · 1981 · 38 · 79410.1063/1.92166 ↗
3. Skorupa · Vacuum · 1986 · 36 · 93310.1016/0042-207X(86)90144-2 ↗
4. Netterfield · Appl. Opt. · 1986 · 25 · 380810.1364/AO.25.003808 ↗
5. Bozso · Phys. Rev. Lett. · 1986 · 57 · 118510.1103/PhysRevLett.57.1185 ↗
6. Peden · Phys. Rev. B · 1993 · 47 · 1562210.1103/PhysRevB.47.15622 ↗
7. Nishijima · Surf. Sci. · 1984 · 137 · 47310.1016/0039-6028(84)90524-7 ↗
8. Avouris · J. Vac. Sci. Technol. B · 1987 · 5 · 138710.1116/1.583621 ↗
9. Lin · J. Am. Ceram. Soc. · 1975 · 58 · 272
10. Ito · J. Electrochem. Soc. · 1978 · 125 · 44810.1149/1.2131471 ↗
11. Wong · IEEE EDL-5 · 1984 · 17510.1109/EDL.1984.25874 ↗
12. Ito · Appl. Phys. Lett. · 1978 · 32 · 33010.1063/1.90039 ↗
13. Hirayama · J. Electrochem. Soc. · 1984 · 131 · 66310.1149/1.2115669 ↗
14. Sugii · Appl. Phys. Lett. · 1984 · 45 · 96610.1063/1.95466 ↗
15. Delord · J. Vac. Sci. Technol. · 1980 · 17 · 51710.1116/1.570498 ↗
16. Schrott · Surf. Sci. · 1982 · 123 · 22310.1016/0039-6028(82)90324-7 ↗
17. Taylor · J. Chem. Phys. · 1978 · 68 · 177610.1063/1.435869 ↗
18. Silicon Nitride Thin Insulating Films
19. De Coster · Vacuum · 1994 · 45 · 38910.1016/0042-207X(94)90307-7 ↗
20. Park · Surf. Sci. · 1993 · 283 · 7310.1016/0039-6028(93)90962-J ↗
21. Park · J. Chem. Phys. · 1992 · 97 · 274210.1063/1.463064 ↗
22. Kusunoki · J. Chem. Phys. · 1994 · 101 · 823810.1063/1.468194 ↗
23. Ren · Appl. Phys. A · 1994 · 58 · 39510.1007/BF00323616 ↗
24. Hellman · Nucl. Instr. Meth. B · 1992 · 67 · 30110.1016/0168-583X(92)95821-8 ↗
25. Hellman · J. Vac. Sci. Technol. A · 1992 · 10 · 163110.1116/1.577761 ↗
26. Low Energy Ion-Surface Interactions
27. Jo · J. Appl. Phys. · 1986 · 60 · 256410.1063/1.337122 ↗
28. Handbook of Auger Electron Spectroscopy, 2nd ed., Eds. L.E. Davis, N.C. MacDonald, P.W. Palmberg, G.E. Riach and R.E. Weber (Perkin-Elmer, Minnesota) p. 15
29. Singer · Surf. Sci. · 1981 · 108 · 710.1016/0039-6028(81)90354-X ↗
30. Kijima · J. Chem. Phys. · 1976 · 65 · 266910.1063/1.433464 ↗
31. Littlewood · J. Appl. Phys. · 1988 · 63 · 217310.1063/1.341081 ↗
32. Snowdon · Nucl. Instr. Meth. B · 1984 · 2 · 79710.1016/0168-583X(84)90317-3 ↗
33. The Stopping and Range of Ions in Solids
34. Thomas · Appl. Phys. Lett. · 1982 · 41 · 5610.1063/1.93327 ↗
35. Pavlyák · Surf. Interf. Anal. · 1993 · 20 · 22110.1002/sia.740200306 ↗