journal article·1994-05

Materials for multilayer zone plates: development of a focusing element for use in SR photo-excited processes

S. Tamura, K. Ohtani, N. Kamijo

Publisher page

Abstract

No abstract is available for this record. The assistant can identify its topic from the title, but cannot infer the study’s results.

Source: Not provided · Quality: missing

Research context

OpenAlex topics: Advanced Surface Polishing Techniques · Surface Roughness and Optical Measurements · Integrated Circuits and Semiconductor Failure Analysis

SciVX discovery tags are terminology-based. OpenAlex topics are source-provided classifications.

References (29)

Show source-provided references
1. 1992
2. Hayakawa · Rev. Sci. Instrum. · 1991 · 62 · 254510.1063/1.1142228 ↗
3. Kyuragi · J. Appl. Phys. · 1987 · 61 · 203510.1063/1.338001 ↗
4. Rosenberg · Appl. Phys. Lett. · 1991 · 58 · 60710.1063/1.104571 ↗
5. Takahashi · Appl. Phys. Lett. · 1991 · 58 · 277610.1063/1.104783 ↗
6. Utsumi · Jpn. J. Appl. Phys. · 1991 · 30 · 319510.1143/JJAP.30.3195 ↗
7. Sugita · Jpn. J. Appl. Phys. · 1991 · 30 · 320910.1143/JJAP.30.3209 ↗
8. Nara · Jpn. J. Appl. Phys. · 1991 · 31 · 233310.1143/JJAP.31.2333 ↗
9. Kagoshima · Rev. Sci. Instrum. · 1989 · 60 · 244810.1063/1.1140695 ↗
10. Morrison · Rev. Sci. Instrum. · 1989 · 60 · 246410.1063/1.1140700 ↗
11. Underwood · Nucl. Instrum. Methods A · 1988 · 266 · 29610.1016/0168-9002(88)90400-7 ↗
12. Capasso · J. Vac. Sci. Technol. A · 1991 · 9 · 124810.1116/1.577607 ↗
13. Hayakawa · Rev. Sci. Instrum. · 1989 · 60 · 245210.1063/1.1140696 ↗
14. Suzuki · Jpn. J. Appl. Phys. · 1989 · 28 · L166010.1143/JJAP.28.L1660 ↗
15. Suzuki · Rev. Sci. Instrum. · 1992 · 63 · 57810.1063/1.1142710 ↗
16. Aritome · J. Vac. Sci. Technol. B · 1985 · 3 · 26510.1116/1.583242 ↗
17. Saitoh · Jpn. J. Appl. Phys. · 1989 · 27 · L213110.1143/JJAP.27.L2131 ↗
18. Saitoh · Rev. Sci. Instrum. · 1989 · 60 · 151910.1063/1.1140974 ↗
19. Bionta · 1989 · 1160 · 12
20. Bionta · Opt. Eng. · 1990 · 29 · 57610.1117/12.55632 ↗
21. Lai · 1991 · 1550 · 46
22. Ogura · 1988 · 984 · 140
23. Ziegler · Appl. Phys. Lett. · 1986 · 48 · 135410.1063/1.96907 ↗
24. Fujisaki · Appl. Opt. · 1990 · 29 · 48310.1364/AO.29.000483 ↗
25. Tamura · J. Vac. Soc. Jpn. · 1993 · 36 · 29210.3131/jvsj.36.292 ↗
26. Bionta · 1988 · 984 · 247
27. Supattahakumaku
28. Thorton · J. Vac. Sci. Technol. · 1974 · 11 · 66610.1116/1.1312732 ↗
29. Whitehouse · Tribology · 1974 · 7 · 21310.1016/0041-2678(74)90105-5 ↗