journal article·1998-08

Oxidation of silicon by perchloric acid

Masayoshi Nishiyama, Toshiko Mizokuro, Kenji Yoneda, Hikaru Kobayashi

Applied Surface Science· Volume 133· Issue 4
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Abstract

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Research context

OpenAlex topics: Semiconductor materials and devices · Silicon Nanostructures and Photoluminescence · Thin-Film Transistor Technologies

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