journal article·1989-09

Nickel and cobalt silicides on silicon: Thin-film reaction and interface structure

J.F. Van Der Veen, A.E.M.J. Fischer, J. Vrijmoeth

Applied Surface Science· Volume 38· Issue 1-4
Publisher page

Abstract

No abstract is available for this record. The assistant can identify its topic from the title, but cannot infer the study’s results.

Source: Not provided · Quality: missing

Research context

OpenAlex topics: Semiconductor materials and interfaces · Surface and Thin Film Phenomena · Silicon and Solar Cell Technologies

SciVX discovery tags are terminology-based. OpenAlex topics are source-provided classifications.

References (75)

Show source-provided references
1. Tu · 1978 · 359
2. d'Heurle · Solid State Phenomena · 1988 · 3/4 · 23710.4028/www.scientific.net/SSP.3-4.237 ↗
3. Tung · Phys. Rev. Letters · 1983 · 50 · 42910.1103/PhysRevLett.50.429 ↗
4. Fischer · J. Appl. Phys. · 1988 · 64 · 300510.1063/1.341563 ↗
5. Tromp · Solid State Commun. · 1982 · 44 · 97110.1016/0038-1098(82)90315-5 ↗
6. van der Veen · Surface Sci. Rept. · 1985 · 5 · 19910.1016/0167-5729(85)90001-9 ↗
7. van Loenen · Surface Sci. · 1985 · 157 · 110.1016/0039-6028(85)90631-4 ↗
8. van Loenen · Surface Sci. · 1985 · 155 · 6510.1016/0039-6028(85)90405-4 ↗
9. Grunthaner · J. Vacuum Sci. Technol. · 1980 · 17 · 92410.1116/1.570618 ↗
10. Franciosi · J. Vacuum Sci. Technol. · 1982 · 21 · 62410.1116/1.571800 ↗
11. Chang · J. Vacuum Sci. Technol. A · 1983 · 1 · 119310.1116/1.571896 ↗
12. Shiraki · Physica B · 1983 · 117/118 · 84310.1016/0378-4363(83)90670-8 ↗
13. Hinkel · Appl. Phys. Letters · 1987 · 50 · 125710.1063/1.97927 ↗
14. Comin · Phys. Rev. Letters · 1983 · 51 · 240410.1103/PhysRevLett.51.2402 ↗
15. Gibson · Surface Sci. · 1989 · 208 · 31710.1016/0039-6028(89)90006-X ↗
16. Fischer · Appl. Surface Sci. · 1986 · 27 · 14310.1016/0169-4332(86)90103-0 ↗
17. Butler · Bull. Am. Phys. Soc. · 1989 · 34 · 799
18. P.A. Bennett, J.R. Butler and X. Tong, to be published.
19. van Loenen · Appl. Phys. Letters · 1984 · 45 · 4110.1063/1.94998 ↗
20. Tung · J. Vacuum Sci. Technol. A · 1987 · 5 · 184010.1116/1.574511 ↗
21. Pirri · Phys. Rev. B · 1984 · 29 · 339110.1103/PhysRevB.29.3391 ↗
22. Boscherini · Phys. Rev. B · 1987 · 35 · 421610.1103/PhysRevB.35.4216 ↗
23. Veuillen · Appl. Phys. Letters · 1987 · 51 · 144810.1063/1.98653 ↗
24. Chainet · Surface Sci. · 1986 · 168 · 30910.1016/0039-6028(86)90912-X ↗
25. Gibson · Appl. Phys. Letters · 1987 · 51 · 4510.1063/1.98882 ↗
26. J. Vrijmoeth et al., to be published.
27. Tung · Appl. Phys. Letters · 1986 · 48 · 63510.1063/1.96728 ↗
28. Hunt · J. Vacuum Sci. Technol. B · 1987 · 5 · 74910.1116/1.583782 ↗
29. Henz · Solid State Commun. · 1987 · 63 · 44510.1016/0038-1098(87)90268-7 ↗
30. Lin · Appl. Phys. Letters · 1988 · 52 · 80410.1063/1.99289 ↗
31. Saitoh · Appl. Phys. Letters · 1980 · 37 · 20310.1063/1.91825 ↗
32. Henz · Surface Sci. · 1989 · 211/212 · 71610.1016/0039-6028(89)90833-9 ↗
33. Tung · Appl. Phys. Letters · 1986 · 48 · 126410.1063/1.96998 ↗
34. Rosencher · Electron. Letters · 1984 · 20 · 76210.1049/el:19840519 ↗
35. Hensel · Appl. Phys. Letters · 1985 · 47 · 15110.1063/1.96245 ↗
36. Tung · Phys. Rev. Letters · 1984 · 52 · 46110.1103/PhysRevLett.52.461 ↗
37. Fischer · Phys. Rev. B · 1988 · 37 · 630510.1103/PhysRevB.37.6305 ↗
38. van den Hoek · Phys. Rev. Letters · 1988 · 60 · 174310.1103/PhysRevLett.60.1743 ↗
39. Chems · Phil. Mag. A · 1982 · 46 · 84910.1080/01418618208236936 ↗
40. van Loenen · Phys. Rev. Letters · 1985 · 54 · 82710.1103/PhysRevLett.54.827 ↗
41. Akimoto · Japan. J. Appl. Phys. · 1983 · 22 · L79810.1143/JJAP.22.L798 ↗
42. Akimoto · Japan. J. Appl. Phys. · 1985 · 24 · 142510.1143/JJAP.24.1425 ↗
43. Vlieg · Surface Sci. · 1986 · 178 · 3610.1016/0039-6028(86)90278-5 ↗
44. Huang · Bull. Am. Phys. Soc. · 1988 · 33 · 715
45. Robinson · Phys. Rev. B · 1988 · 38 · 363210.1103/PhysRevB.38.3632 ↗
46. Tung · J. Vacuum Sci. Technol. B · 1984 · 2 · 46510.1116/1.582896 ↗
47. Tung · Phys. Rev. B · 1986 · 33 · 707710.1103/PhysRevB.33.7077 ↗
48. Hauenstein · Appl. Phys. Letters · 1985 · 47 · 85310.1063/1.96007 ↗
49. Ospelt · Appl. Phys. Letters · 1988 · 52 · 22710.1063/1.99527 ↗
50. Liehr · Phys. Rev. Letters · 1985 · 54 · 213910.1103/PhysRevLett.54.2139 ↗
51. Kikuchi · J. Appl. Phys. · 1988 · 64 · 461410.1063/1.341239 ↗
52. G.P. Das, P. Blöchl, N.E. Christensen and O.K. Andersen, to be published.
53. Werner · Appl. Phys. Letters · 1989 · 54 · 152810.1063/1.101385 ↗
54. Gibson · Appl. Phys. Letters · 1983 · 41 · 81810.1063/1.93699 ↗
55. Fischer · Phys. Rev. B · 1988 · 37 · 630510.1103/PhysRevB.37.6305 ↗
56. Fischer · Phys. Rev. B · 1987 · 36 · 476910.1103/PhysRevB.36.4769 ↗
57. Zegenhagen · Appl. Phys. Letters · 1987 · 51 · 117610.1063/1.98724 ↗
58. Lagomarsino · Surface Sci. · 1989 · 211/212 · 69210.1016/0039-6028(89)90830-3 ↗
59. C.W.T. Bulle-Lieuwma, A.F. de Jong, A.H. van Ommen, J.F. van der Veen and J. Vrijmoeth, to be published.
60. Rossi · Phys. Rev. Letters · 1989 · 62 · 19110.1103/PhysRevLett.62.191 ↗
61. A. Catana, S. Rieubland, P.E. Schmid and P. Stadelmann, to be published.
62. d'Anterroches · Thin Solid Films · 1986 · 137 · 35110.1016/0040-6090(86)90036-2 ↗
63. R.T. Tung, J.L. Batstone and S.M. Yalisove, to be published.
64. van Ommen · Appl. Surface Sci. · 1989 · 38 · 19710.1016/0169-4332(89)90539-4 ↗
65. van den Hoek · Surface Sci. · 1988 · 205 · 54910.1016/0039-6028(88)90302-0 ↗
66. Hamann · Phys. Rev. Letters · 1988 · 60 · 31310.1103/PhysRevLett.60.313 ↗
67. Hamann · Phys. Rev. Letters · 1985 · 54 · 251710.1103/PhysRevLett.54.2517 ↗
68. Tung · Appl. Phys. Letters · 1988 · 52 · 161110.1063/1.99702 ↗
69. Pirri · Phys. Rev. · 1986 · B33 · 410810.1103/PhysRevB.33.4108 ↗
70. Wu · Phys. Rev. B · 1986 · 33 · 290010.1103/PhysRevB.33.2900 ↗
71. Tung · 1987 · 94 · 65
72. Hellman · Phys. Rev. B · 1988 · 37 · 1078610.1103/PhysRevB.37.10786 ↗
73. Leckey · J. Vacuum Sci. Technol. A · 1988 · 6 · 6310.1116/1.574970 ↗
74. Chambers · Phys. Rev. B · 1986 · 34 · 91310.1103/PhysRevB.34.913 ↗
75. J. Vrijmoeth, A.G. Schins and J.F. van der Veen, Phys. Rev. B, in press.