Inelastic electron scattering and energy-selective negative ion reactions in molecular films on silicon surfaces
Bibliographic record
Abstract
No abstract is available for this record. The assistant can identify its topic from the title, but cannot infer the study’s results.
Source: Not provided · Quality: missing
Research context
OpenAlex topics: Ion-surface interactions and analysis · Diamond and Carbon-based Materials Research · Plasma Diagnostics and Applications
SciVX discovery tags are terminology-based. OpenAlex topics are source-provided classifications.
References (100+)
Show source-provided references
1. Schram · Plasma Phys. Control. Fusion · 1994 · 36 · B6510.1088/0741-3335/36/12B/005 ↗
2. Kogelschatz · Plasma Chem. Plasma Process. · 2003 · 23 · 110.1023/A:1022470901385 ↗
3. Conrads · Plasma Sources Sci. Technol. · 2000 · 9 · 44110.1088/0963-0252/9/4/301 ↗
4. Penetrante · Phys. Lett. A · 1995 · 209 · 6910.1016/0375-9601(95)00789-4 ↗
5. Tonkyn · J. Appl. Phys. · 1996 · 80 · 487710.1063/1.363530 ↗
6. Adams · Mass Spectrom. Rev. · 2006 · 25 · 79810.1002/mas.20084 ↗
7. Poulsen · J. Vac. Sci. Technol. · 1977 · 14 · 26610.1116/1.569137 ↗
8. Coburn · J. Vac. Sci. Technol. · 1979 · 16 · 39110.1116/1.569958 ↗
9. Winters · Surf. Sci. Rep. · 1992 · 14 · 16110.1016/0167-5729(92)90009-Z ↗
10. Bondur · J. Vac. Sci. Technol. · 1976 · 13 · 102310.1116/1.569054 ↗
11. Coburn · J. Appl. Phys. · 1979 · 50 · 318910.1063/1.326355 ↗
12. Egerton · J. Phys. D: Appl. Phys. · 1976 · 9 · 65910.1088/0022-3727/9/4/016 ↗
13. Chang · J. Vac. Sci. Technol. A · 2003 · 21 · S14510.1116/1.1600452 ↗
14. Samukawa · J. Vac. Sci. Technol. B · 2000 · 18 · 83410.1116/1.591283 ↗
15. Noda · J. Vac. Sci. Technol. A · 2004 · 22 · 150610.1116/1.1723338 ↗
16. Noda · J. Vac. Sci. Technol. A · 2006 · 24 · 141410.1116/1.2189264 ↗
17. Szabo · J. Appl. Phys. · 1994 · 75 · 362310.1063/1.356074 ↗
18. Szabo · J. Vac. Sci. Technol. A · 1994 · 12 · 64810.1116/1.578848 ↗
19. Sanche · Phys. Rev. Lett. · 1984 · 53 · 163810.1103/PhysRevLett.53.1638 ↗
20. Stoffels · Plasma Sources Sci Technol. · 2001 · 10 · 31110.1088/0963-0252/10/2/321 ↗
21. Christophorou · Appl. Surf. Sci. · 2002 · 192 · 30910.1016/S0169-4332(02)00033-8 ↗
22. Manos · Thin Solid Films · 1991 · 195 · 31910.1016/0040-6090(91)90283-4 ↗
23. Sanche · Scanning Microsc. · 1995 · 9 · 619
24. Chutjian · Phys. Rep. · 1996 · 264 · 39310.1016/0370-1573(95)00022-4 ↗
25. Ingolfsson · Int. J. Mass Spectrom. Ion Process. · 1996 · 155 · 110.1016/S0168-1176(96)04392-3 ↗
26. Christophorou · 1984
27. Bass · Radiat. Environ. Biophys. · 1998 · 37 · 24310.1007/s004110050125 ↗
28. Sanche · Surf. Sci. · 2000 · 451 · 8210.1016/S0039-6028(00)00011-X ↗
29. Bass · Radiat. Phys. Chem. · 2003 · 68 · 310.1016/S0969-806X(03)00244-5 ↗
30. Bass · Low Temp. Phys. · 2003 · 29 · 20210.1063/1.1542441 ↗
31. Balog · Int. J. Mass Spectrom. · 2004 · 233 · 26710.1016/j.ijms.2003.12.030 ↗
32. Kimmel · J. Chem. Phys. · 1994 · 101 · 328210.1063/1.468430 ↗
33. Kimmel · Phys. Rev. Lett. · 1996 · 77 · 398310.1103/PhysRevLett.77.3983 ↗
34. Orlando · Nucl. Instrum. Methods in Phys. Res., Sect. B · 1999 · 157 · 18310.1016/S0168-583X(99)00436-X ↗
35. Lane · J. Chem. Phys. · 2006 · 124 · 16470210.1063/1.2189851 ↗
36. Aleksandrov · Phys. Rev. Lett. · 2001 · 88 · 53610.1103/PhysRevLett.86.536 ↗
37. Klyachko · Surf. Sci. · 1997 · 389 · 2910.1016/S0039-6028(97)00354-3 ↗
38. Di · Phys. Rev. B · 1995 · 52 · 1661810.1103/PhysRevB.52.16618 ↗
39. Sugita · Surf. Sci. · 2005 · 593 · 16810.1016/j.susc.2005.06.089 ↗
40. Mochiji · Phys. Rev. B · 2000 · 62 · 202910.1103/PhysRevB.62.2029 ↗
41. Mochiji · Phys. Rev. B · 2001 · 63 · 11540710.1103/PhysRevB.63.115407 ↗
42. Mochiji · Phys. Rev. B · 2003 · 67 · 11331410.1103/PhysRevB.67.113314 ↗
43. Compton · Phys. Rev. · 1967 · 154 · 11010.1103/PhysRev.154.110 ↗
44. Melton · J. Chem. Phys. · 1972 · 57 · 421810.1063/1.1678051 ↗
45. Jungen · Chem. Phys. · 1979 · 37 · 4910.1016/0301-0104(79)80005-1 ↗
46. Curtis · J. Chem. Soc. Faraday Trans. · 1992 · 88 · 280510.1039/FT9928802805 ↗
47. Fedor · J. Phys. B · 2006 · 39 · 393510.1088/0953-4075/39/18/022 ↗
48. Simpson · Surf. Sci. · 1997 · 390 · 8610.1016/S0039-6028(97)00522-0 ↗
49. Haxton · Phys. Rev. A · 2004 · 69 · 06271310.1103/PhysRevA.69.062713 ↗
50. Haxton · Phys. Rev. A · 2004 · 69 · 06271410.1103/PhysRevA.69.062714 ↗
51. Kimmel · Nucl. Instrum. Methods Phys. Res., Sect. B · 1995 · 101 · 17910.1016/0168-583X(95)00295-2 ↗
52. Klyachko · Surf. Sci. · 1996 · 346 · L4910.1016/0039-6028(95)95066-4 ↗
53. Singh · J. Vac. Sci. Technol. A · 2001 · 19 · 71810.1116/1.1354603 ↗
54. Rao · Plasma Sources Sci Technol. · 2002 · 11 · 6910.1088/0963-0252/11/1/309 ↗
55. Christophorou · J. Phys. Chem. Ref. Data · 1996 · 25 · 134110.1063/1.555986 ↗
56. Rozum · J. Phys. Chem. Ref. Data · 2006 · 35 · 26710.1063/1.2149379 ↗
57. Kono · Thin Solid Films · 2002 · 407 · 19810.1016/S0040-6090(02)00038-X ↗
58. Peko · Phys. Rev. E · 1999 · 60 · 744910.1103/PhysRevE.60.7449 ↗
59. Meinke · Chem. Phys. Lett. · 1993 · 205 · 21310.1016/0009-2614(93)89232-7 ↗
60. Illenberger · Chem. Phys. Lett. · 1981 · 80 · 15310.1016/0009-2614(81)80079-6 ↗
61. Oster · Int. J. Mass Spectrom. Ion Process. · 1989 · 89 · 110.1016/0168-1176(89)85031-1 ↗
62. Le Coat · J. Phys. B: At. Mol. Opt. Phys. · 1994 · 27 · 96510.1088/0953-4075/27/5/016 ↗
63. Le Coat · Int. J. Mass Spectrom. Ion Process. · 1997 · 164 · 23110.1016/S0168-1176(97)00090-6 ↗
64. Weik · J. Chem. Phys. · 1995 · 103 · 140610.1063/1.469764 ↗
65. Bass · J. Phys. Chem. · 1995 · 99 · 612310.1021/j100016a057 ↗
66. Hunter · J. Chem. Phys. · 1984 · 80 · 615010.1063/1.446716 ↗
67. Vought · Phys. Rev. · 1947 · 71 · 9310.1103/PhysRev.71.93 ↗
68. Wang · J. Chem. Phys. · 1974 · 61 · 135710.1063/1.1682060 ↗
69. Moylan · Int. J. Mass Spectrom. Ion Process. · 1990 · 96 · 29910.1016/0168-1176(90)85130-T ↗
70. Ishikawa · J. Chem. Phys. · 1991 · 94 · 674010.1063/1.460251 ↗
71. Tse · Phys. Rev. A · 1989 · 39 · 179110.1103/PhysRevA.39.1791 ↗
72. Guo · Surf. Sci. · 1996 · 352–354 · 32710.1016/0039-6028(95)01155-2 ↗
73. Rapp · J. Chem. Phys. · 1965 · 43 · 148010.1063/1.1696958 ↗
74. Huels · J. Chem. Phys. · 1994 · 100 · 394010.1063/1.466329 ↗
75. Sambe · Phys. Rev. A · 1989 · 40 · 365110.1103/PhysRevA.40.3651 ↗
76. Huels · Phys. Rev. A · 1995 · 51 · 33710.1103/PhysRevA.51.337 ↗
77. Huels · Phys. Rev. B · 1995 · 52 · 1134310.1103/PhysRevB.52.11343 ↗
78. Prabhudesai · J. Phys. B · 2006 · 39 · L27710.1088/0953-4075/39/14/L01 ↗
79. Wong · Phys. Rev. Lett. · 1973 · 31 · 96910.1103/PhysRevLett.31.969 ↗
80. Noble · Phys. Rev. Lett. · 1996 · 76 · 353410.1103/PhysRevLett.76.3534 ↗
81. Martel · Science · 1996 · 272 · 38510.1126/science.272.5260.385 ↗
82. Xu · J. Appl. Phys. · 1997 · 82 · 628910.1063/1.366516 ↗
83. Chen · Phys. Rev. B · 1991 · 43 · 452710.1103/PhysRevB.43.4527 ↗
84. Jensen · Phys. Rev. Lett. · 1990 · 64 · 130110.1103/PhysRevLett.64.1301 ↗
85. Sanche · Phys. Rev. Lett. · 1987 · 59 · 13610.1103/PhysRevLett.59.136 ↗
86. Sanche · J. Chem. Phys. · 1990 · 93 · 747610.1063/1.459422 ↗
87. Zhou · J. Chem. Phys. · 1990 · 92 · 561210.1063/1.458493 ↗
88. Liu · Chem. Phys. Lett. · 1992 · 198 · 61510.1016/0009-2614(92)85038-C ↗
89. Balog · Phys. Rev. Lett. · 2003 · 91 · 21320110.1103/PhysRevLett.91.213201 ↗
90. Sloan · Nature · 2005 · 434 · 36710.1038/nature03385 ↗
91. Bernheim · Surf. Sci. · 2001 · 494 · 14510.1016/S0039-6028(01)01425-X ↗
92. Palmer · Rev. Mod. Phys. · 1992 · 64 · 38310.1103/RevModPhys.64.383 ↗
93. Liberman · Chem. Phys. Lett. · 1991 · 176 · 37910.1016/0009-2614(91)90047-D ↗
94. Yang · J. Chem. Phys. · 1993 · 98 · 1008510.1063/1.464441 ↗
95. Yang · Phys. Rev. Lett. · 1994 · 72 · 306810.1103/PhysRevLett.72.3068 ↗
96. Lu · Chem. Phys. · 1996 · 205 · 14310.1016/0301-0104(95)00377-0 ↗
97. Camillone · J. Chem. Phys. · 1998 · 109 · 804510.1063/1.476970 ↗
98. Khan · J. Chem. Phys. · 1999 · 110 · 1052610.1063/1.478984 ↗
99. Seo · Phys. Rev. B · 1990 · 42 · 908010.1103/PhysRevB.42.9080 ↗
100. Chen · Phys. Rev. B · 1991 · 44 · 169910.1103/PhysRevB.44.1699 ↗