journal article·1993-05

Pulsed laser crystallization and doping for the fabrication of high-quality poly-Si TFTs

E. Fogarassy, H. Pattyn, M. Elliq, A. Slaoui, B. Prevot, R. Stuck, S. de Unamuno, E.L. Mathé

Applied Surface Science· Volume 69· Issue 1-4
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Abstract

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Research context

OpenAlex topics: Thin-Film Transistor Technologies · Silicon Nanostructures and Photoluminescence · Silicon and Solar Cell Technologies

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