journal article·1997-02

Bistabilities in pyrolytic laser-CVD of silicon and carbon

P.B. Kargl, N. Arnold, D. Bäuerle

Applied Surface Science· Volume 108· Issue 2
Publisher page

Abstract

No abstract is available for this record. The assistant can identify its topic from the title, but cannot infer the study’s results.

Source: Not provided · Quality: missing

Research context

OpenAlex topics: Silicon and Solar Cell Technologies · Thin-Film Transistor Technologies · Silicon Nanostructures and Photoluminescence

SciVX discovery tags are terminology-based. OpenAlex topics are source-provided classifications.

References (28)

Show source-provided references
1. Bäuerle · 1996
2. Jackman · J. Appl. Phys. · 1986 · 59 · 203110.1063/1.336385 ↗
3. Du · Appl. Phys. A · 1986 · 39 · 16710.1007/BF00620731 ↗
4. Szörényi · 1986 · 91
5. Braichotte · Appl. Phys. A · 1987 · 44 · 35310.1007/BF00624603 ↗
6. Markwalder · J. Appl. Phys. · 1989 · 65 · 247010.1063/1.342817 ↗
7. Preuß · Appl. Phys. A · 1992 · 54 · 15210.1007/BF00323902 ↗
8. Messelhäuser · Appl. Phys. A · 1992 · 55 · 19610.1007/BF00334223 ↗
9. Foulon · Appl. Phys. A · 1993 · 56 · 28310.1007/BF00539488 ↗
10. Reisse · Appl. Surf. Sci. · 1993 · 69 · 41210.1016/0169-4332(93)90544-L ↗
11. Garrido · Jpn. J. Appl. Phys. · 1993 · 32 · 131210.1143/JJAP.32.1312 ↗
12. Kargl · Appl. Phys. A · 1993 · 57 · 17510.1007/BF00331441 ↗
13. Han · J. Appl. Phys. · 1994 · 75 · 224010.1063/1.356287 ↗
14. Kargl · Appl. Phys. A · 1993 · 57 · 57710.1007/BF00331762 ↗
15. Arnold · Microelectron. Eng. · 1993 · 20 · 3110.1016/0167-9317(93)90205-J ↗
16. Arnold · Appl. Surf. Sci. · 1995 · 86 · 45710.1016/0169-4332(94)00450-1 ↗
17. Kullmer · Thin Solid Films · 1992 · 218 · 12210.1016/0040-6090(92)90910-4 ↗
18. 1973
19. 1968 · 3
20. 1981 · Vol. 16a
21. Arnold · J. Appl. Phys. · 1996
22. Iwanaga · Jpn. J. Appl. Phys. · 1984 · 23 · L47310.1143/JJAP.23.L473 ↗
23. Stafast · Appl. Phys. A · 1988 · 45 · 9310.1007/BF02565194 ↗
24. Scott · 1984 · Vol. 21 · 2
25. Scott · 1984 · Vol. 21 · 123
26. Landold-Börnstein · 1991 · Vol. 17
27. Doppelbauer · 1987 · Vol. 134 · 277
28. Landold-Börnstein · 1991 · Vol. 15c