XAES and XPS study of amorphous carbon nitride layers
Bibliographic record
Abstract
No abstract is available for this record. The assistant can identify its topic from the title, but cannot infer the study’s results.
Source: Not provided · Quality: missing
Research context
OpenAlex topics: Diamond and Carbon-based Materials Research · Electron and X-Ray Spectroscopy Techniques · Semiconductor materials and devices
SciVX discovery tags are terminology-based. OpenAlex topics are source-provided classifications.
References (32)
Show source-provided references
1. Liu · Phys. Rev. B · 1990 · 41 · 1072710.1103/PhysRevB.41.10727 ↗
2. Ortega · Phys. Rev. B · 1995 · 51 · 262410.1103/PhysRevB.51.2624 ↗
3. Zemek · J. Electron Spectrosc. Rel. Phen. · 1995 · 76 · 742
4. Li · J. Vac. Sci. Technol. A · 1995 · 13 · 106310.1116/1.579586 ↗
5. Wixom · J. Am. Ceram. Soc. · 1990 · 73 · 168610.1111/j.1151-2916.1990.tb05254.x ↗
6. Sjostrom · Phys. Rev. Lett. · 1995 · 75 · 133610.1103/PhysRevLett.75.1336 ↗
7. Ren · Appl. Phys. Lett. · 1994 · 65 · 136110.1063/1.112052 ↗
8. Gouzman · Thin Solid Films · 1994 · 253 · 9010.1016/0040-6090(94)90300-X ↗
9. Marton · Phys. Rev. Lett. · 1994 · 73 · 11810.1103/PhysRevLett.73.118 ↗
10. Bulir · Thin Solid Films · 1997 · 292 · 31810.1016/S0040-6090(96)08951-1 ↗
11. Bursil · J. Mater. Res. · 1995 · 10 · 227710.1557/JMR.1995.2277 ↗
12. Gilkes · Diamond Rel. Mater. · 1996 · 5 · 56010.1016/0925-9635(95)00365-7 ↗
13. Mizokawa · Surf. Sci. · 1987 · 182 · 43110.1016/0039-6028(87)90011-2 ↗
14. Galuska · Appl. Surf. Sci. · 1988 · 32 · 25310.1016/0169-4332(88)90012-8 ↗
15. Lascowich · Appl. Surf. Sci. · 1991 · 47 · 1710.1016/0169-4332(91)90098-5 ↗
16. Lascowich · Appl. Surf. Sci. · 1994 · 78 · 1710.1016/0169-4332(94)90026-4 ↗
17. Desimoni · Surf. Interf. Anal. · 1993 · 20 · 90910.1002/sia.740201106 ↗
18. Savitzky · Anal. Chem. · 1964 · 36 · 162710.1021/ac60214a047 ↗
19. J.F. Moulder, W.F. Stickle, P.E. Sobol, K.D. Bomben, Handbook of X-ray Photoelectron Spectroscopy, Perkin Elmer, Eden Prairie, 1992.
20. Band · At. Data Nucl. Data Tables · 1979 · 23 · 44310.1016/0092-640X(79)90027-5 ↗
21. Tanuma · Surf. Interf. Anal. · 1991 · 17 · 91110.1002/sia.740171304 ↗
22. Jiricek · Czech. J. Phys. · 1994 · 44 · 26110.1007/BF01694490 ↗
23. Dementjev · Surf. Interf. Anal. · 1996 · 24 · 51710.1002/(SICI)1096-9918(199608)24:8<517::AID-SIA154>3.0.CO;2-L ↗
24. Walters · J. Phys.: Condens. Matter · 1996 · 8 · 473910.1088/0953-8984/8/26/006 ↗
25. Robertson · Diamond Rel. Mater. · 1995 · 4 · 44110.1016/0925-9635(94)05265-4 ↗
26. D'Anna · Appl. Surf. Sci. · 1996 · 106 · 12610.1016/S0169-4332(96)00374-1 ↗
27. Hoffman · Diamond Rel. Mater. · 1995 · 4 · 296
28. Jablonski · Phys. Rev. B · 1993 · 48 · 1356110.1103/PhysRevB.48.4799 ↗
29. Dementjev · Diamond Rel. Mater. · 1997 · 6 · 48610.1016/S0925-9635(96)00695-4 ↗
30. McKenzie · Rep. Prog. Phys. · 1996 · 59 · 161110.1088/0034-4885/59/12/002 ↗
31. Haasz · J. Vac. Sci. Technol. A · 1996 · 14 · 18410.1116/1.579916 ↗
32. Biener · Surf. Sci. · 1994 · 309 · 22810.1016/0039-6028(94)90399-9 ↗