journal article·1999-06

Properties of TiC thin films grown by pulsed laser deposition

F. Santerre, M.A. El Khakani, M. Chaker, J.P. Dodelet

Applied Surface Science· Volume 148· Issue 1-2
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Abstract

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Research context

OpenAlex topics: Semiconductor materials and devices · Metal and Thin Film Mechanics · Copper Interconnects and Reliability

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