journal article·2010-02-11

Porous Semiconductors: Advanced Material for Gas Sensor Applications

G. Korotcenkov, B. K. Cho

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Abstract

The present review article is devoted to the analysis of the problems related to the design of gas sensors based on porous semiconductors (PS). The peculiarities of the semiconductor porosification by anodic etching and the principles of gas sensor design based on porous semiconductors, including gas sensor construction and main operating characteristics, are considered in the article. It is shown that the influence of the surrounding atmosphere on such parameters of porous semiconductors as refractive index, the intensity of photoluminescence, electroconductivity, dielectric constant, and surface potential might be used for gas sensor design. Based on the conducted analysis it is concluded that porous semiconductors have a great potential for the above-mentioned applications. However, the realization of those opportunities is restrained by such factors as bad reproducibility, increased temporal drift of characteristics, low selectivity, and an unsatisfactory level of understanding of the operating mechanism of sensors fabricated on the basis of porous semiconductors.
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Research context

OpenAlex topics: Gas Sensing Nanomaterials and Sensors · Silicon Nanostructures and Photoluminescence · Nanowire Synthesis and Applications

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References (100+)

Show source-provided references
1. Canhman L. · 1997
2. 10.1016/0169-4332(96)00094-310.1016/0169-4332(96)00094-3 ↗
3. 10.1155/JNM/2006/9163510.1155/JNM/2006/91635 ↗
4. 10.1016/j.mser.2006.05.00210.1016/j.mser.2006.05.002 ↗
5. 10.1016/S0167-5729(99)00012-610.1016/S0167-5729(99)00012-6 ↗
6. 10.1038/384338a010.1038/384338a0 ↗
7. 10.1016/S1369-7021(02)05141-610.1016/S1369-7021(02)05141-6 ↗
8. 10.1016/S0038-1101(99)00036-210.1016/S0038-1101(99)00036-2 ↗
9. Feng Z. C. · 199410.1142/9789812812995 ↗
10. 10.1016/0040-6090(94)05670-910.1016/0040-6090(94)05670-9 ↗
11. 10.1063/1.36653610.1063/1.366536 ↗
12. Anderson R. C. · Sensor. Actuator. A · 1990 · 21 · 835
13. 10.1126/science.261.5128.156710.1126/science.261.5128.1567 ↗
14. Di Francia, G., De Filippo, F., La Ferrara, V., Quercia, L., Lancellotti, L., Barotto, C., Comini, E., Faglia, G. and Sberveglieri, G. Porous silicon layers for the detection at RT of low concentrations of vapoura from organic compounds. Proceedings of European Conference Eurosensors XII. Edited by: White, N. M. Vol. 1, pp.544Southampton, UK: IOP.
15. 10.1016/j.stam.2003.11.00210.1016/j.stam.2003.11.002 ↗
16. 10.1016/j.susc.2003.10.03210.1016/j.susc.2003.10.032 ↗
17. 10.1016/S0022-0728(99)00107-210.1016/S0022-0728(99)00107-2 ↗
18. 10.1088/0953-8984/13/31/30910.1088/0953-8984/13/31/309 ↗
19. 10.1134/1.118754810.1134/1.1187548 ↗
20. 10.1016/j.jlumin.2004.11.00310.1016/j.jlumin.2004.11.003 ↗
21. 10.1016/j.snb.2005.03.06410.1016/j.snb.2005.03.064 ↗
22. 10.1016/j.snb.2006.05.00410.1016/j.snb.2006.05.004 ↗
23. 10.1016/S0169-4332(97)00184-010.1016/S0169-4332(97)00184-0 ↗
24. 10.1016/j.snb.2006.12.02710.1016/j.snb.2006.12.027 ↗
25. 10.1016/j.jnoncrysol.2006.02.04610.1016/j.jnoncrysol.2006.02.046 ↗
26. 10.1016/S0928-4931(01)00475-110.1016/S0928-4931(01)00475-1 ↗
27. 10.1016/S0026-2692(03)00183-610.1016/S0026-2692(03)00183-6 ↗
28. 10.1016/j.ssc.2006.08.00310.1016/j.ssc.2006.08.003 ↗
29. 10.1016/S0961-1290(03)00993-110.1016/S0961-1290(03)00993-1 ↗
30. 10.1016/S0924-4247(01)00885-810.1016/S0924-4247(01)00885-8 ↗
31. 10.1002/adma.20039004310.1002/adma.200390043 ↗
32. 10.1002/pssa.20030646910.1002/pssa.200306469 ↗
33. Chang, W. H., Schellin, B., Spellmeyer, R., Obermeier, E. and Huang, Y. C. Bulk micromachining of n-type 6H-SiC without UV illumination for pressure sensor applications. CD Proceedings of the 16th European Conference on Solid-State Transducers Eurosensors XVI. pp.246Prague: Czech Republic.
34. 10.1016/j.snb.2005.03.06710.1016/j.snb.2005.03.067 ↗
35. 10.1016/S0038-1098(03)00130-310.1016/S0038-1098(03)00130-3 ↗
36. 10.1016/S0040-6090(96)09419-910.1016/S0040-6090(96)09419-9 ↗
37. 10.1016/j.apsusc.2007.03.03210.1016/j.apsusc.2007.03.032 ↗
38. 10.1016/j.tsf.2006.10.10410.1016/j.tsf.2006.10.104 ↗
39. 10.1016/j.physe.2005.03.00710.1016/j.physe.2005.03.007 ↗
40. 10.1016/j.tsf.2007.02.09610.1016/j.tsf.2007.02.096 ↗
41. 10.1016/j.snb.2003.12.06410.1016/j.snb.2003.12.064 ↗
42. 10.1109/ICSENS.2004.142612910.1109/ICSENS.2004.1426129 ↗
43. 10.1016/S0927-796X(02)00090-610.1016/S0927-796X(02)00090-6 ↗
44. 10.1016/0040-6090(95)91137-B10.1016/0040-6090(95)91137-B ↗
45. 10.1016/j.tsf.2007.03.03310.1016/j.tsf.2007.03.033 ↗
46. 10.1016/j.mseb.2007.01.04410.1016/j.mseb.2007.01.044 ↗
47. 10.1166/sl.2005.01210.1166/sl.2005.012 ↗
48. Halimaoui A. · 1995
49. Kleps, I., Miu, M., Ignat, T. and Simion, M. Nanocomposite porous silicon layers. Proceedings of the International Offshore and Polar Engineering Conference. Vol. 4, pp.2916Lisbon, Portugal: ISOPE.
50. Angelescu A. · Rev. Adv. Mater. Sci. · 2003 · 5 · 440
51. 10.1016/S0038-1101(01)00148-410.1016/S0038-1101(01)00148-4 ↗
52. 10.1016/0250-6874(83)85012-410.1016/0250-6874(83)85012-4 ↗
53. 10.1016/j.snb.2006.04.09210.1016/j.snb.2006.04.092 ↗
54. 10.1016/j.snb.2004.10.00610.1016/j.snb.2004.10.006 ↗
55. 10.1007/s00216005149010.1007/s002160051490 ↗
56. 10.1016/S0925-4005(99)00133-110.1016/S0925-4005(99)00133-1 ↗
57. 10.1088/0022-3727/34/19/20110.1088/0022-3727/34/19/201 ↗
58. 10.1016/S0925-4005(00)00639-010.1016/S0925-4005(00)00639-0 ↗
59. 10.1109/7361.98346510.1109/7361.983465 ↗
60. 10.1016/j.mser.2008.02.00110.1016/j.mser.2008.02.001 ↗
61. Vial J. C. · 199510.1007/978-3-662-03120-9 ↗
62. 10.1063/1.10356110.1063/1.103561 ↗
63. 10.1016/0169-4332(89)90130-X10.1016/0169-4332(89)90130-X ↗
64. Barla K. · J. Cryst. Growth · 1984 · 69 · 726
65. Ben-Chroin M. · 1997 · 38
66. 10.1016/0040-6090(94)05668-410.1016/0040-6090(94)05668-4 ↗
67. Cox T. I. · 1997 · 185
68. Lang W. · 1997 · 128
69. 10.1016/S0038-1098(99)00271-910.1016/S0038-1098(99)00271-9 ↗
70. 10.1063/1.10451210.1063/1.104512 ↗
71. 10.1016/S1386-1425(03)00338-X10.1016/S1386-1425(03)00338-X ↗
72. 10.1103/PhysRevB.45.1417110.1103/PhysRevB.45.14171 ↗
73. 10.1021/jp972214h10.1021/jp972214h ↗
74. 10.1088/0953-8984/5/7/00310.1088/0953-8984/5/7/003 ↗
75. 10.1063/1.36653610.1063/1.366536 ↗
76. 10.1103/PhysRevB.52.491010.1103/PhysRevB.52.4910 ↗
77. 10.1103/PhysRevLett.72.264810.1103/PhysRevLett.72.2648 ↗
78. 10.1063/1.35109710.1063/1.351097 ↗
79. 10.1016/0022-2313(93)90145-D10.1016/0022-2313(93)90145-D ↗
80. 10.1103/PhysRevB.45.1378810.1103/PhysRevB.45.13788 ↗
81. 10.1016/0022-2313(93)90150-L10.1016/0022-2313(93)90150-L ↗
82. 10.1016/S0921-5107(98)00297-910.1016/S0921-5107(98)00297-9 ↗
83. 10.1063/1.35029310.1063/1.350293 ↗
84. 10.1557/PROC-256-6310.1557/PROC-256-63 ↗
85. 10.1134/1.118725910.1134/1.1187259 ↗
86. 10.1149/1.242887310.1149/1.2428873 ↗
87. 10.1016/S0924-4247(00)00382-410.1016/S0924-4247(00)00382-4 ↗
88. 10.1002/pssa.20067430210.1002/pssa.200674302 ↗
89. 10.1002/pssa.20030646410.1002/pssa.200306464 ↗
90. 10.1016/S0925-4005(01)00630-X10.1016/S0925-4005(01)00630-X ↗
91. 10.1016/S0169-4332(01)00310-510.1016/S0169-4332(01)00310-5 ↗
92. 10.1149/1.222091910.1149/1.2220919 ↗
93. 10.1038/368133a010.1038/368133a0 ↗
94. 10.1016/j.mejo.2007.07.02610.1016/j.mejo.2007.07.026 ↗
95. Zhang X. G. · 2001
96. 10.1002/352760027210.1002/3527600272 ↗
97. 10.1016/S0925-4005(01)00673-610.1016/S0925-4005(01)00673-6 ↗
98. 10.1016/j.physe.2005.03.02010.1016/j.physe.2005.03.020 ↗
99. 10.1016/j.ssc.2006.05.00210.1016/j.ssc.2006.05.002 ↗
100. 10.1016/S0928-4931(01)00394-010.1016/S0928-4931(01)00394-0 ↗