journal article·1996-05

Insights into deposition processes for amorphous semiconductor materials and devices from real time spectroscopic ellipsometry

R.W. Collins, J.S. Burnham, Sangbo Kim, Joohyun Koh, Yiwei Lu, C.R. Wronski

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Abstract

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Research context

OpenAlex topics: Thin-Film Transistor Technologies · Silicon and Solar Cell Technologies · Silicon Nanostructures and Photoluminescence

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References (19)

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