Orthorhombic phase stabilization and ferroelectric enhancement in ZrO 2 thin films via stress engineering
Source abstract
Abstract
Stress engineering enhances the ferroelectricity of ZrO 2 thin films prepared by chemical solution deposition.
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Research context
OpenAlex topics: Ferroelectric and Negative Capacitance Devices · Ferroelectric and Piezoelectric Materials · Advanced Sensor and Energy Harvesting Materials
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Affiliations
Faculty of Materials Science and Engineering, Kunming University of Science and Technology, Kunming, 650093, P. R. China
Funding
National Natural Science Foundation of China
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