High-quality UV optoelectrical and high-mobility T-ODL/Ti:ZnO epilayers on an amorphous substrate through tailoring the interfacial nucleation process by atomic layer deposition
Source abstract
Abstract
Tailoring nucleation process through ODL to gain highly oriented ZnO thin films with excellent UV luminescent and electrical performances.
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Research context
OpenAlex topics: ZnO doping and properties · Electronic and Structural Properties of Oxides · Ga2O3 and related materials
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Affiliations
Key Laboratory of Aerospace Materials and Performance (Ministry of Education)
School of Materials Science and Engineering
Beihang University (BUAA)
Beijing
China
Funding
National Natural Science Foundation of China
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