Wet etching and chemical polishing of InAs/GaSb superlattice photodiodes

R Chaghi; C Cervera; H Aït-Kaci; P Grech; J B Rodriguez; P Christol

doi:10.1088/0268-1242/24/6/065010

journal article·2009-06-10

Wet etching and chemical polishing of InAs/GaSb superlattice photodiodes

R Chaghi, C Cervera, H Aït-Kaci, P Grech, J B Rodriguez, P Christol

Semiconductor Science and Technology· Volume 24· Issue 6

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OpenAlex topics: Advanced Semiconductor Detectors and Materials · Semiconductor Quantum Structures and Devices · Chalcogenide Semiconductor Thin Films

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