journal article·2025-06-30Open access

EFFECT OF DEPOSITION PARAMETERS ON THE MICROSTRUCTURE AND BONDING PROPERTIES OF AlN FILMS PREPARED BY MAGNETRON SPUTTERING

Yang Jiao

Ceramics - Silikaty

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Bibliographic record

Abstract

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Research context

Materials processing

OpenAlex topics: GaN-based semiconductor devices and materials · Surface Roughness and Optical Measurements · Metal and Thin Film Mechanics

SciVX discovery tags are terminology-based. OpenAlex topics are source-provided classifications.

References (27)

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