The Preparation of Thin Alumina Films by Metal-Organic Chemical Vapour Deposition: A Short Review
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Abstract
Article The Preparation of Thin Alumina Films by Metal-Organic Chemical Vapour Deposition: A Short Review was published on June 1, 1994 in the journal High Temperature Materials and Processes (volume 13, issue 2).
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Research context
OpenAlex topics: Semiconductor materials and devices · Metal and Thin Film Mechanics · Advanced ceramic materials synthesis
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