Polymer–Silicon Flexible Structures for Fast Chemical Vapor Detection
Source abstract
Abstract
Stimuli-responsive microactuators controlled by the interfacial stress across the polymer/silicon interface are introduced as simple, miniature, and flexible sensing platforms for chemical vapor detection. The sensors detect water vapor with sensitivities of ± 10 parts per billion (±0.00005% relative humidity) and faster than previously recorded response times. These characteristics make the bimaterial silicon cantilevers excellent candidates for critical security and defense needs as well as for environmental monitoring.
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Research context
OpenAlex topics: Analytical Chemistry and Sensors · Gas Sensing Nanomaterials and Sensors · Mechanical and Optical Resonators
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