Heteroepitaxial growth of (100) single-crystal diamond with reduced wafer bow via SiO₂ Nanospheres interlayer
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Abstract
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Research context
OpenAlex topics: Diamond and Carbon-based Materials Research · Advanced Surface Polishing Techniques · Electronic and Structural Properties of Oxides
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References (50)
Show source-provided references
1. Isberg · Science · 2002 · 297 · 167010.1126/science.1074374 ↗
2. Donato · J. Phys. D. Appl. Phys. · 2019 · 5310.1088/1361-6463/ab4eab ↗
3. Umezawa · Mater. Sci. Semicond. Process. · 2018 · 78 · 14710.1016/j.mssp.2018.01.007 ↗
4. Baliga · IEEE Electron Device Lett. · 2002 · 10 · 45510.1109/55.43098 ↗
5. Woodhead Publishing · 2018 · 191
6. Kalish · J. Phys. D. Appl. Phys. · 2007 · 40 · 646710.1088/0022-3727/40/20/S22 ↗
7. Shikata · Diam. Relat. Mater. · 2016 · 65 · 16810.1016/j.diamond.2016.03.013 ↗
8. Denisenko · Diam. Relat. Mater. · 2005 · 14
9. Bauer · Diam. Relat. Mater. · 2005 · 14 · 31410.1016/j.diamond.2004.10.028 ↗
10. Gsell · Diam. Relat. Mater. · 2006 · 15 · 47910.1016/j.diamond.2005.10.041 ↗
11. Fischer · Diam. Relat. Mater. · 2008 · 17 · 103510.1016/j.diamond.2008.02.028 ↗
12. Mayr · Phys. Status Solidi A · 2015 · 212 · 248010.1002/pssa.201532243 ↗
13. Klein · Diam. Relat. Mater. · 2016 · 65 · 5310.1016/j.diamond.2016.01.024 ↗
14. Kwak · Diam. Relat. Mater. · 2021 · 11410.1016/j.diamond.2021.108335 ↗
15. Choi · Diam. Relat. Mater. · 2022 · 121
16. Han · Phys. Status Solidi A · 2023 · 22010.1002/pssa.202200680 ↗
17. Kwak · Diam. Relat. Mater. · 2023 · 13310.1016/j.diamond.2023.109750 ↗
18. Kwak · Diam. Relat. Mater. · 2025 · 15310.1016/j.diamond.2025.112022 ↗
19. Nam · Diam. Relat. Mater. · 2025 · 162 · 11325810.1016/j.diamond.2025.113258 ↗
20. Golding · Diam. Relat. Mater. · 2004 · 13
21. Dai · Appl. Phys. Lett. · 2003 · 82 · 384710.1063/1.1579560 ↗
22. Kuo · Thin Solid Films · 1996 · 290
23. Michler · Thin Solid Films · 1999 · 357 · 18910.1016/S0040-6090(99)00528-3 ↗
24. Ando · Diam. Relat. Mater. · 2004 · 13
25. Aida · Appl. Phys. Express · 2016 · 910.7567/APEX.9.035504 ↗
26. Kim · Appl. Phys. Express · 2021 · 1410.35848/1882-0786/ac28e7 ↗
27. Wei · Mater. Lett. · 2021 · 30310.1016/j.matlet.2021.130483 ↗
28. Schreck · Sci. Rep. · 2017 · 7
29. Schreck · J. Appl. Phys. · 2025 · 13710.1063/5.0245362 ↗
30. Kim · Sci. Rep. · 2013 · 3 · 320110.1038/srep03201 ↗
31. Ralchenko · Mater. Sci. Semicond. Process. · 2025 · 19610.1016/j.mssp.2025.109642 ↗
32. Wang · Vacuum · 2022 · 204
33. Wei · Appl. Phys. Lett. · 2021 · 119
34. Wang · Sci. China Technol. Sci. · 2016 · 59
35. Choi · Langmuir · 2014 · 3010.1021/la5001842 ↗
36. Khanna · Colloids Surf. A Physicochem. Eng. Asp. · 2018 · 55310.1016/j.colsurfa.2018.05.063 ↗
37. Tang · Appl. Phys. Lett. · 2016 · 10810.1063/1.4941291 ↗
38. Gicquel · Curr. Appl. Phys. · 2001 · 1 · 47910.1016/S1567-1739(01)00061-X ↗
39. Das · Int. Mater. Rev. · 2007 · 5210.1179/174328007X160245 ↗
40. Swartz · Rev. Mod. Phys. · 1989 · 6110.1103/RevModPhys.61.605 ↗
41. Gao · J. Porous Media · 2015 · 1810.1615/JPorMedia.2015012218 ↗
42. Kasu · Diam. Relat. Mater. · 2022 · 12810.1016/j.diamond.2022.109287 ↗
43. Kasu · Diam. Relat. Mater. · 2022 · 12610.1016/j.diamond.2022.109086 ↗
44. Luryi · Appl. Phys. Lett. · 1986 · 4910.1063/1.97204 ↗
45. Zubia · J. Appl. Phys. · 1999 · 8510.1063/1.370153 ↗
46. Hutchinson · Adv. Appl. Mech. · 1991 · 29
47. Stoney · Proc. R. Soc. Lond. Ser. A · 1909 · 82
48. Wachtman · J. Res. Natl. Bur. Stand. Sect. A Phys. Chem. · 1960 · 64 · 21310.6028/jres.064A.022 ↗
49. Ferreira · J. Appl. Phys. · 2002 · 9110.1063/1.1431431 ↗
50. Wachtman · J. Res. Natl. Bur. Stand. Sect. A Phys. Chem. · 1960 · 64 · 21310.6028/jres.064A.022 ↗