Optical and Mechanical Characterization of Sputtered AlN/Ag Multilayer Films
Source abstract
Abstract
This study explores the synthesis of ceramic/metal multilayers with a wide range of transmittance values while examining their resulting microstructure and mechanical behavior. AlN/Ag nanomultilayers are synthesized by reactive DC magnetron sputtering with either repeated bilayer thicknesses or layer thicknesses optimized for transmittance. Five structures are investigated, and all show agreement with predicted transmittance values. The measured hardness values range from 4.9 to 19.4 GPa, while the failure is brittle‐dominated fracture, independent of the Ag layer thickness. The optically optimized samples exhibit a fourfold increase in hardness and increase optical performance over the repeated bilayer samples, despite the similar deformation behavior.
Source: crossref · Quality: baseline
Research context
OpenAlex topics: Metal and Thin Film Mechanics · Advanced ceramic materials synthesis · MXene and MAX Phase Materials
SciVX discovery tags are terminology-based. OpenAlex topics are source-provided classifications.
Affiliations
Department of Aerospace and Mechanical Engineering Mork Family Department of Chemical Engineering and Materials Science University of Southern California Los Angeles CA 90089 USA
Funding
Office of Naval Research
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