journal article·2005-01

Mechanical behaviour of metallic thin films on polymeric substrates and the effect of ion beam assistance on crack propagation

M. George, C. Coupeau, J. Colin, J. Grilhé

Acta Materialia· Volume 53· Issue 2
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Abstract

The mechanisms of crack propagation in metallic films on polymeric substrates have been studied through in situ atomic force microscopy observations of thin films under tensile stresses and finite element stress calculations. Two series of films - ones deposited with ion beam assistance, the others without - have been investigated. The observations and stress calculations show that ion beam assistance can change drastically the propagation of cracks in coated materials: by improving the adhesion film/substrate, it slows down the delamination process, but in the same time enhances the cracks growth in the thickness of the material.
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Research context

OpenAlex topics: Metal and Thin Film Mechanics · Copper Interconnects and Reliability · Ion-surface interactions and analysis

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