journal article·1999-11

Thermal stability of a Cu/Ta multilayer: an intriguing interfacial reaction

Hoo-Jeong Lee, Kee-Won Kwon, Changsup Ryu, Robert Sinclair

Acta Materialia· Volume 47· Issue 15-16
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Abstract

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Research context

OpenAlex topics: Copper Interconnects and Reliability · Metal and Thin Film Mechanics · Electronic Packaging and Soldering Technologies

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