Numerical simulation of RF discharges for plasma processing
Bibliographic record
Abstract
No abstract is available for this record. The assistant can identify its topic from the title, but cannot infer the study’s results.
Source: Not provided · Quality: missing
Research context
OpenAlex topics: Plasma Diagnostics and Applications · Electrohydrodynamics and Fluid Dynamics · Dust and Plasma Wave Phenomena
SciVX discovery tags are terminology-based. OpenAlex topics are source-provided classifications.
References (26)
Show source-provided references
1. Shkarofsky · 1966
2. Feoktistov · IEEE Trans. Plasma Sci. · 1991 · PS-19 · 16310.1109/27.106810 ↗
3. Wilhelm · Beitr. Plasmaphys. · 1979 · 7 · 333
4. de Heer · J. Phys. · 1979 · B12 · 979
5. Milloy · Aust. J. Phys. · 1977 · 30 · 6110.1071/PH770061 ↗
6. Bell · J. Phys. · 1984 · B17 · 4757
7. Nickel · 1983 · 93
8. Itikawa · J. Phys. Chem. Ref. Data · 1986 · 15 · 98510.1063/1.555762 ↗
9. Hackbusch · 1985
10. Meijer · 1991
11. Collart · 1989 · 561
12. Bletzinger · IEEE Trans. Plasma Sci. · 1986 · PS-14 · 125
13. Meijer · Phys. Rev. · 1992 · A45 · 109810.1103/PhysRevA.45.1098 ↗
14. Golant · Sov. Phys. Tech. Phys. · 1959 · 4 · 680
15. Barnes · J. Comput. Phys. · 1988 · 77 · 5310.1016/0021-9991(88)90156-8 ↗
16. Meijer · IEEE Trans. Plasma Sci. · 1991 · PS-19 · 17010.1109/27.106811 ↗
17. Smolarkiewicz · J. Comput. Phys. · 1984 · 54 · 32510.1016/0021-9991(84)90121-9 ↗
18. Gottscho · Phys. Rev. · 1987 · A36 · 223310.1103/PhysRevA.36.2233 ↗
19. Goedheer · IEEE Trans. Plasma Sci. · 1991 · PS-19 · 24510.1109/27.106820 ↗
20. Glow Discharge Processes
21. Köhler · J. Appl. Phys. · 1985 · 58 · 335010.1063/1.335797 ↗
22. Kuypers · J. Appl. Phys. · 1988 · 63 · 189410.1063/1.339888 ↗
23. Manenschijn · J. Appl. Phys. · 1991 · 69 · 125310.1063/1.347311 ↗
24. Benoit-Cattin · J. Appl. Phys. · 1968 · 39 · 572310.1063/1.1656039 ↗
25. Wild · Appl. Phys. Lett. · 1989 · 54 · 50510.1063/1.100913 ↗
26. Manenschijn · J. Appl. Phys. · 1991 · 69 · 292310.1063/1.348602 ↗