journal article·1986-08

IR study of ultrathin plasma SiO2 and plasma treated thermal SiO2 films

L.I. Popova, E.D. Atanassova, D.I. Kolev, B.M. Nikolova

Journal of Non-Crystalline Solids· Volume 85· Issue 3
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Abstract

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Research context

OpenAlex topics: ZnO doping and properties · Thin-Film Transistor Technologies · Semiconductor materials and devices

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