Fabrication of a-SiN/a-Si:H/n+a-Si:H multilayer structure by magnetron sputtering
Bibliographic record
Abstract
No abstract is available for this record. The assistant can identify its topic from the title, but cannot infer the study’s results.
Source: Not provided · Quality: missing
Research context
OpenAlex topics: Thin-Film Transistor Technologies · Silicon Nanostructures and Photoluminescence · Silicon and Solar Cell Technologies
SciVX discovery tags are terminology-based. OpenAlex topics are source-provided classifications.
References (22)
Show source-provided references
1. The Physics of Hydrogenated Amorphous Silicon
2. Müller · Solar Energy Mater. · 1984 · 10 · 17110.1016/0165-1633(84)90059-5 ↗
3. Yang · Phys. Rev. · 1989 · B39 · 380110.1103/PhysRevB.39.3801 ↗
4. Pinarbasi · Thin Solid Films · 1989 · 171 · 21710.1016/0040-6090(89)90045-X ↗
5. Myers · J. Non-Cryst. Solids · 1991 · 137 · 78310.1016/S0022-3093(05)80237-6 ↗
6. Tardy · Philos. Mag. · 1984 · B49 · 734
7. Kolodziej · Thin Solid Films · 1989 · 175 · 3710.1016/0040-6090(89)90805-5 ↗
8. Kolodziej · 1993 · 17
9. Kolodziej · 1994 · 40
10. Powell · J. Non-Cryst. Solids · 1991 · 137 · 121510.1016/S0022-3093(05)80342-4 ↗
11. Paul · Solar Energy Mater. · 1981 · 5 · 22910.1016/0165-1633(81)90001-0 ↗
12. Zanzucchi · 1984 · Vol. 21B · 113
13. Meaudre · Philos. Mag. · 1984 · B50 · L6310.1080/13642818408238887 ↗
14. Bustaret · Phys. Rev. · 1988 · B38 · 817110.1103/PhysRevB.38.8171 ↗
15. Kolodziej · Acta Phys. Polon. · 1989 · A71
16. Cody · 1984 · Vol. 21B · 11
17. Pisarkiewicz · Appl. Phys. Lett. · 1992 · 60 · 146510.1063/1.107272 ↗
18. Pisarkiewicz · 1995 · 87
19. Bah · Thin Solid Films · 1993 · 232 · 1810.1016/0040-6090(93)90755-E ↗
20. Warren · J. Appl. Phys. · 1991 · 70 · 146
21. Kanicki · J. Non-Cryst. Solids · 1993 · 164–166 · 105510.1016/0022-3093(93)91180-B ↗
22. Nickel · J. Non-Cryst. Solids · 1991 · 137&138 · 122110.1016/S0022-3093(05)80343-6 ↗