Failure phenomena due to hydrogen migration in amorphous a-SiNx:H films
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Abstract
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Research context
OpenAlex topics: Thin-Film Transistor Technologies · Semiconductor materials and devices · Silicon Nanostructures and Photoluminescence
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References (21)
Show source-provided references
1. Maslovsky · Microelectronika · 1978 · 7 · 531
2. Ngai · Appl.Phys.Lett. · 1982 · 41 · 15910.1063/1.93438 ↗
3. Stein · IEEE Transact. ED · 1978 · 25 · 100810.1109/T-ED.1978.19215 ↗
4. Arnett · Appl.Phys.Lett. · 1975 · 26 · 9410.1063/1.88093 ↗
5. Kapoor · J.Appl.Phys. · 1981 · 52 · 31110.1063/1.328495 ↗
6. Lenahan · Appl.Phys.Lett. · 1990 · 56 · 15310.1063/1.103278 ↗
7. Robertson · Appl.Phys.Lett. · 1984 · 44 · 41510.1063/1.94794 ↗
8. Kumeda · Jap.J.Appl.Phys. · 1984 · 23 · L50210.1143/JJAP.23.L502 ↗
9. Krick · Appl. Phys. Lett. · 1987 · 51 · 60810.1063/1.98362 ↗
10. Roizin · Photoelectronica · 1987 · 1 · 81
11. Kärcher · Phys.Rev. · 1984 · B30 · 189610.1103/PhysRevB.30.1896 ↗
12. Kramarenko · Poverkhnost · 1990 · 6 · 94
13. Vasilenko · Poverkhnost · 1990 · 7 · 151
14. Qin · Sol.St.Comm. · 1989 · 7 · 45
15. Fisch · Phys.Rev.Lett. · 1978 · 41 · 88910.1103/PhysRevLett.41.889 ↗
16. Stutzman · Phys.Rev. · 1985 · B32 · 2310.1103/PhysRevB.32.23 ↗
17. Eberhart · Phys.Rev. · 1982 · B26 · 313810.1103/PhysRevB.26.3138 ↗
18. Agafonov · J.Non.Cryst.Solids · 1987 · 97 · 82710.1016/0022-3093(87)90198-0 ↗
19. Nakhmanson · Thin Solid Films · 1978 · 55 · 16910.1016/0040-6090(78)90046-9 ↗
20. Roizin · Fiz.Tverdogo Tela · 1990 · 32 · 293
21. Maslovsky · Microelectronica · 1987 · 16 · 344