Electron cyclotron resonance plasma enhanced chemical vapour deposition and optical properties of SiOx thin films
Bibliographic record
Abstract
No abstract is available for this record. The assistant can identify its topic from the title, but cannot infer the study’s results.
Source: Not provided · Quality: missing
Research context
OpenAlex topics: Thin-Film Transistor Technologies · Semiconductor materials and devices · Silicon Nanostructures and Photoluminescence
SciVX discovery tags are terminology-based. OpenAlex topics are source-provided classifications.
References (42)
Show source-provided references
1. S. Wolf, Silicon Processing for the VLSI Era: Vol. 2. Process Integration, Lattice Press, CA, 1990.10.1080/07421656.1990.10758895 ↗
2. Li · IEE Proc. Optoelectron · 1996 · 143 · 26310.1049/ip-opt:19960840 ↗
3. Stone · Electron. Lett. · 1990 · 26 · 129010.1049/el:19900830 ↗
4. Martin · IEEE Trans. Plasma Sci. · 1990 · 18 · 85510.1109/27.61496 ↗
5. Zacharias · J. Non-Cryst. Solids · 1993 · 164–166 · 108910.1016/0022-3093(93)91188-9 ↗
6. Brüesch · J. Appl. Phys. · 1993 · 73 · 767710.1063/1.353965 ↗
7. Pan · Opt. Eng. · 1993 · 32 · 58910.1117/12.61037 ↗
8. Watanabe · J. Non-Cryst. Solids · 1993 · 164–166 · 108510.1016/0022-3093(93)91187-8 ↗
9. Sichanugrist · J. Non-Cryst. Solids · 1993 · 164–166 · 108110.1016/0022-3093(93)91186-7 ↗
10. Ray · J. Vac. Sci. Technol. B · 1992 · 10 · 113910.1116/1.586090 ↗
11. Ahn · Appl. Phys. Lett. · 1994 · 64 · 324910.1063/1.111300 ↗
12. Hey · Solid State Technol. · 1990 · 33 · 139
13. Bulkin · Thin Solid Films · 1994 · 241 · 24710.1016/0040-6090(94)90434-0 ↗
14. Bulkin · J. Non-Cryst. Solids · 1995 · 187 · 48410.1016/0022-3093(95)00181-6 ↗
15. Bulkin · Proc. SPIE · 1994 · 2253 · 46210.1117/12.192121 ↗
16. Popov · J. Vac. Sci. Technol. A · 1994 · 12 · 30010.1116/1.578872 ↗
17. Hernandez · J. Vac. Sci. Technol. B · 1994 · 12 · 58110.1116/1.587393 ↗
18. Plais · J. Electrochem. Soc. · 1992 · 139 · 148910.1149/1.2069437 ↗
19. Andosca · J. Appl. Phys. · 1992 · 72 · 112610.1063/1.351789 ↗
20. Buckle · J. Vac. Sci. Technol. B · 1992 · 10 · 113310.1116/1.586089 ↗
21. Fowler · J. Vac. Sci. Technol. B · 1994 · 12 · 44110.1116/1.587141 ↗
22. Bulat · J. Vac. Sci. Technol. A · 1992 · 10 · 140210.1116/1.578257 ↗
23. Pai · J. Appl. Phys. · 1993 · 73 · 353110.1063/1.354074 ↗
24. Moustakas · Physica B · 1993 · 185 · 3610.1016/0921-4526(93)90213-P ↗
25. Kern · RCA Rev. · 1970 · 31 · 187
26. Bulkin · S. Afr. J. Phys. · 1993 · 16 · 33
27. Swanepoel · J. Phys. E · 1983 · 16 · 121410.1088/0022-3735/16/12/023 ↗
28. E.D. Palik (Ed.), Handbook of Optical Constants of Solids, Academic Press, Orlando, FL, 1985.
29. K.W. Böer, Survey of Semiconductor Physics, Van Nostrand Reinhold, New York, 1990, p. 350.10.1007/978-1-4615-9744-5 ↗
30. Cross · J. Appl. Phys. · 1987 · 62 · 453810.1063/1.339046 ↗
31. McNeil · Appl. Opt. · 1984 · 23 · 55210.1364/AO.23.000552 ↗
32. Lucovsky · Solid State Commun. · 1979 · 29 · 57110.1016/0038-1098(79)90666-5 ↗
33. Lucovsky · Phys. Rev. B · 1983 · 28 · 322510.1103/PhysRevB.28.3225 ↗
34. Maeda · J. Non-Cryst. Solids · 1995 · 187 · 28710.1016/0022-3093(95)00151-4 ↗
35. Han · J. Vac. Sci. Technol. A · 1996 · 14 · 206210.1116/1.580082 ↗
36. He · J. Non-Cryst. Solids · 1995 · 185 · 24910.1016/0022-3093(94)00681-4 ↗
37. Lucovsky · J. Non-Cryst. Solids · 1995 · 182 · 9010.1016/0022-3093(94)00578-8 ↗
38. Homma · J. Non-Cryst. Solids · 1995 · 187 · 4910.1016/0022-3093(95)00110-7 ↗
39. Langford · Phys. Rev. B · 1992 · 45 · 1336710.1103/PhysRevB.45.13367 ↗
40. Knox · J. Vac. Sci. Technol. A · 1993 · 11 · 189610.1116/1.578519 ↗
41. Brüesch · J. Appl. Phys. · 1993 · 73 · 769010.1063/1.353966 ↗
42. Philipp · J. Non-Cryst. Solids · 1972 · 8–10 · 62710.1016/0022-3093(72)90202-5 ↗