journal article·1996-07

Structural, chemical, and electrical characterisation of reactively sputtered WSx thin films

M. Regula, C. Ballif, J.H. Moser, F. Lévy

Thin Solid Films· Volume 280· Issue 1-2
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Abstract

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Research context

OpenAlex topics: Metal and Thin Film Mechanics · ZnO doping and properties · Semiconductor materials and devices

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References (42)

Show source-provided references
1. 1992 · 2
2. Jäger-Waldau · 1994 · Vols. 37–38 · 479
3. Prasad · J. Phys. D: Appl. Phys. · 1988 · 21 · 102810.1088/0022-3727/21/6/029 ↗
4. Tenne · Appl. Phys. Lett. · 1985 · 47 · 70710.1063/1.96066 ↗
5. Agarwal · Cryst. Res. Technol. · 1989 · 24 · 121510.1002/crat.2170241206 ↗
6. Späh · Appl. Phys. Lett. · 1983 · 43 · 7910.1063/1.94128 ↗
7. Späh · Appl. Phys. Lett. · 1985 · 47 · 87110.1063/1.95960 ↗
8. Vogt · 1989 · Vol. 1 · 493
9. Jäger-Waldau · 1993 · 597
10. Hofmann · J. Mater. Sci. · 1988 · 23 · 398110.1007/BF01106824 ↗
11. Chatzitheodorou · Mater. Res. Bull. · 1988 · 23 · 126110.1016/0025-5408(88)90114-6 ↗
12. Pramanik · Mater. Res. Bull. · 1990 · 25 · 1510.1016/0025-5408(90)90157-W ↗
13. Wang · Plating Surface Finishing · 1990 · 60
14. Jäger-Waldau · Appl. Surf. Sci. · 1993 · 63 · 46510.1016/0169-4332(93)90703-E ↗
15. Genut · Thin Solid Films · 1992 · 217 · 9110.1016/0040-6090(92)90611-E ↗
16. Genut · Thin Solid Films · 1992 · 219 · 3010.1016/0040-6090(92)90720-V ↗
17. Jäger-Waldau · Appl. Surf. Sci. · 1993 · 70/71 · 73110.1016/0169-4332(93)90611-E ↗
18. Jäger-Waldau · Thin Solid Films · 1991 · 200 · 15710.1016/0040-6090(91)90038-Y ↗
19. Salitra · Thin Solid Films · 1994 · 245 · 18010.1016/0040-6090(94)90896-6 ↗
20. Pouzet · Mater. Chem. Phys. · 1994 · 36 · 30410.1016/0254-0584(94)90046-9 ↗
21. Bernede · J. Phys. III France · 1994 · 4 · 67710.1051/jp3:1994158 ↗
22. Spalvins · ASLE Trans. · 1971 · 14 · 26710.1080/05698197108983252 ↗
23. Lince · J. Mater. Res. · 1987 · 2 · 82710.1557/JMR.1987.0827 ↗
24. Fleischauer · Thin Solid Films · 1987 · 154 · 30910.1016/0040-6090(87)90375-0 ↗
25. 1990 · 129
26. Moser · J. Mater. Res. · 1993 · 8 · 20610.1557/JMR.1993.0206 ↗
27. Bichsel · Thin Solid Films · 1984 · 116 · 36710.1016/0040-6090(84)90117-2 ↗
28. Bichsel · Thin Solid Films · 1985 · 124 · 7510.1016/0040-6090(85)90031-8 ↗
29. Bichsel · J. Phys. D: Appl. Phys. · 1986 · 19 · 180910.1088/0022-3727/19/9/025 ↗
30. Kettaf · J. Phys. Chem. Solids · 1990 · 51 · 33310.1016/0022-3697(90)90116-W ↗
31. Hirano · Appl. Phys. Lett. · 1985 · 47 · 68310.1063/1.96057 ↗
32. Pouchou · Recherche Aérospatiale · 1984 · 3 · 167
33. Vossen · 1978
34. Lince · J. Mater. Res. · 1990 · 5 · 21810.1557/JMR.1990.0218 ↗
35. J. Salardenne, private communication.
36. Moser · J. Mater. Res. · 1992 · 7 · 73410.1557/JMR.1992.0734 ↗
37. 1989
38. Ito · Philos. Mag. B · 1978 · 37 · 77310.1080/01418637808225655 ↗
39. Bertrand · J. Mater. Res. · 1989 · 4 · 18010.1557/JMR.1989.0180 ↗
40. Warren · Phys. Rev. · 1941 · 59 · 69310.1103/PhysRev.59.693 ↗
41. Moser · Thin Solid Films · 1994 · 240 · 5610.1016/0040-6090(94)90693-9 ↗
42. Yang · Phys. Rev. B · 1991 · 43 · 1205310.1103/PhysRevB.43.12053 ↗