A 3D tomographic EBSD analysis of a CVD diamond thin film
Source abstract
Abstract
We have studied the nucleation and growth processes in a chemical vapor deposition (CVD) diamond film using a tomographic electron backscattering diffraction method (3D EBSD). The approach is based on the combination of a focused ion beam (FIB) unit for serial sectioning in conjunction with high-resolution EBSD. Individual diamond grains were investigated in 3-dimensions particularly with regard to the role of twinning.
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Research context
OpenAlex topics: Diamond and Carbon-based Materials Research · Force Microscopy Techniques and Applications · Ion-surface interactions and analysis
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References (44)
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