journal article·2008-07

Simulations of and experiments on the holographic lithography fabrication of photonic crystals

Shlomo Y. Goldin, Avraham Cashingad, Asher Perez, Raphi Dror, Bruno Sfez

Optical Materials· Volume 30· Issue 11
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Abstract

We use the fast marching algorithm to simulate the process of the lithographic development (chemical etching) taking a major part in the procedure of the holographic lithography fabrication of photonic crystals. We also develop a method for the check of the bi-continuity of the resulting crystals. The technique furthermore allows removing of the disconnected regions. The simulation turns out to be particularly important for the newly used chalcogenide glasses. The comparison between the simulation and the experiment shows an excellent agreement.
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Research context

OpenAlex topics: Photonic Crystals and Applications · Photonic and Optical Devices · Optical Coatings and Gratings

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