Optical anisotropy of AlN epilayer on sapphire substrate investigated by variable-angle spectroscopic ellipsometry
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Abstract
National Natural Science [60827004, 90921002, 60776066]; Science and Technology Programs of Xiamen and Fujian of China
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Research context
OpenAlex topics: GaN-based semiconductor devices and materials · ZnO doping and properties · Acoustic Wave Resonator Technologies
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