Patterning of periodic high-aspect-ratio nanopores in anatase titanium dioxide from titanium fluoride hydrolysis
Source abstract
Abstract
We report straight pores in titanium dioxide produced by a pattern transfer method with titanium fluoride hydrolysis. The resulting films on fluorine-doped tin oxide had pores with diameters of 30 nm and depths of 500 nm, corresponding to aspect ratios of 1:17.
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Research context
OpenAlex topics: Anodic Oxide Films and Nanostructures · ZnO doping and properties · Ga2O3 and related materials
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