Metal-organic chemical vapour deposition of van der Waals 2D chalcogenides and heterostructures: a review

1. Kang · Nature · 2015 · 520 · 65610.1038/nature14417 ↗

2. Chhowalla · Nat. Chem. · 2013 · 5 · 26310.1038/nchem.1589 ↗

3. Wang · Nat. Nanotechnol. · 2012 · 7 · 69910.1038/nnano.2012.193 ↗

4. Liu · Nat. Nanotechnol. · 2024 · 19 · 90710.1038/s41565-024-01704-3 ↗

5. Mak · Phys. Rev. Lett. · 2010 · 105 · 13680510.1103/PhysRevLett.105.136805 ↗

6. Robert · Nat. Commun. · 2021 · 12 · 545510.1038/s41467-021-25747-5 ↗

7. Keum · Nat. Phys. · 2015 · 11 · 48210.1038/nphys3314 ↗

8. Wang · Natl. Sci. Rev. · 2022 · 9 · nwac07710.1093/nsr/nwac077 ↗

9. Liu · Nature · 2022 · 605 · 6910.1038/s41586-022-04523-5 ↗

10. Qin · Science · 2024 · 385 · 9910.1126/science.ado6038 ↗

11. Kim · ACS Appl. Mater. Interfaces · 2019 · 11 · 1261310.1021/acsami.8b20714 ↗

12. Luo · Nanoscale Horiz. · 2019 · 4 · 2610.1039/C8NH00150B ↗

13. Yoo · Nanomaterials · 2021 · 11 · 83210.3390/nano11040832 ↗

14. Gong · Nat. Mater. · 2014 · 13 · 113510.1038/nmat4091 ↗

15. Geim · Nature · 2013 · 499 · 41910.1038/nature12385 ↗

16. Tran · Nature · 2019 · 567 · 7110.1038/s41586-019-0975-z ↗

17. Sarkar · Nature · 2015 · 526 · 9110.1038/nature15387 ↗

18. He · Nat. Nanotechnol. · 2015 · 10 · 49710.1038/nnano.2015.75 ↗

19. Sangwan · Nature · 2018 · 554 · 50010.1038/nature25747 ↗

20. Jin · Nat. Nanotechnol. · 2021 · 16 · 109210.1038/s41565-021-00942-z ↗

21. Lee · Chem. Mater. · 2020 · 32 · 508410.1021/acs.chemmater.0c00949 ↗

22. C.Fenouillet-Beranger , B.Mathieu , B.Previtali , M. P.Samson , N.Rambal , V.Benevent , S.Kerdiles , J. P.Barnes , D.Barge , P.Besson , R.Kachtouli , M.Cassé , X.Garros , A.Laurent , F.Nemouchi , K.Huet , I.Toqué-Trésonne , D.Lafond , H.Dansas , F.Aussenac , G.Druais , P.Perreau , E.Richard , S.Chhun , E.Petitprez , N.Guillot , F.Deprat , L.Pasini , L.Brunet , V.Lu , C.Reita , P.Batude and M.Vinet , New insights on bottom layer thermal stability and laser annealing promises for high performance 3D VLSI, IEEE International Electron Devices Meeting (IEDM) , San Francisco, CA, USA , 2014 , pp. 27.5.1–27.5.4

23. Fenouillet-Beranger · Solid-State Electron. · 2015 · 113 · 210.1016/j.sse.2015.05.005 ↗

24. Song · Matter · 2023 · 6 · 348310.1016/j.matt.2023.07.012 ↗

25. Kim · Adv. Mater. · 2024 · 36 · 240080010.1002/adma.202400800 ↗

26. Martin · APL Mater. · 2022 · 10 · 05110610.1063/5.0087684 ↗

27. Yang · Acc. Mater. Res. · 2021 · 3 · 16110.1021/accountsmr.1c00209 ↗

28. Tang · Acc. Mater. Res. · 2020 · 2 · 3610.1021/accountsmr.0c00063 ↗

29. Song · Nat. Commun. · 2023 · 14 · 474710.1038/s41467-023-40448-x ↗

30. Xia · Nanoscale · 2014 · 6 · 894910.1039/C4NR02311K ↗

31. Yan · Nanoscale · 2021 · 13 · 892210.1039/D1NR00552A ↗

32. Liu · ACS Nano · 2015 · 9 · 611910.1021/acsnano.5b01301 ↗

33. Wang · Nat. Nanotechnol. · 2022 · 17 · 3310.1038/s41565-021-01004-0 ↗

34. Aljarb · Nat. Mater. · 2020 · 19 · 130010.1038/s41563-020-0795-4 ↗

35. Wang · Sci. Rep. · 2016 · 6 · 2153610.1038/srep21536 ↗

36. Sinha · Nanoscale Adv. · 2025 · 7 · 356810.1039/D5NA00202H ↗

37. Zhang · Cryst. Growth Des. · 2020 · 20 · 77710.1021/acs.cgd.9b01182 ↗

38. Ali · Nature · 2014 · 514 · 20510.1038/nature13763 ↗

39. Li · Nature · 2016 · 529 · 18510.1038/nature16175 ↗

40. Zhang · Chem. Mater. · 2024 · 36 · 253310.1021/acs.chemmater.3c03335 ↗

41. Das · Nat. Electron. · 2025 · 8 · 2410.1038/s41928-024-01265-2 ↗

42. Ye · ACS Nano · 2022 · 16 · 1187610.1021/acsnano.2c01151 ↗

43. Legma · J. Cryst. Growth · 1993 · 130 · 25310.1016/0022-0248(93)90859-U ↗

44. Zhao · Coatings · 2018 · 8 · 7810.3390/coatings8020078 ↗

45. Chareev · Cryst. Growth Des. · 2023 · 23 · 228710.1021/acs.cgd.2c01318 ↗

46. Cai · Matter · 2020 · 2 · 58710.1016/j.matt.2019.12.026 ↗

47. Leskelä · Angew. Chem., Int. Ed. · 2003 · 42 · 554810.1002/anie.200301652 ↗

48. Rajbhandari · J. Vac. Sci. Technol., A · 2020 · 38 · 03240610.1116/1.5139247 ↗

49. Charvot · RSC Adv. · 2021 · 11 · 2214010.1039/D0RA10239C ↗

50. Leskelä · Thin Solid Films · 2002 · 409 · 13810.1016/S0040-6090(02)00117-7 ↗

51. Balasubramanyam · ACS Mater. Lett. · 2020 · 2 · 51110.1021/acsmaterialslett.0c00093 ↗

52. Jurca · Angew. Chem., Int. Ed. · 2017 · 56 · 499110.1002/anie.201611838 ↗

53. Pyeon · Nanoscale · 2016 · 8 · 1079210.1039/C6NR01346E ↗

54. Jin · Nanoscale · 2014 · 6 · 1445310.1039/C4NR04816D ↗

55. Piallat · J. Vac. Sci. Technol. B · 2016 · 34 · 02120210.1116/1.4942497 ↗

56. Zhu · Nat. Nanotechnol. · 2023 · 18 · 45610.1038/s41565-023-01375-6 ↗

57. Momeni · npj Comput. Mater. · 2022 · 8 · 24010.1038/s41524-022-00936-y ↗

58. Zhu · Nat. Nanotechnol. · 2023 · 18 · 45610.1038/s41565-023-01375-6 ↗

59. Hoang · Nat. Nanotechnol. · 2023 · 18 · 143910.1038/s41565-023-01460-w ↗

60. Simonson · FlatChem · 2018 · 11 · 3210.1016/j.flatc.2018.11.004 ↗

61. Park · Small Methods · 2021 · 5 · 200072010.1002/smtd.202000720 ↗

62. Eichfeld · 2D Mater. · 2016 · 3 · 02501510.1088/2053-1583/3/2/025015 ↗

63. Kim · Nano Lett. · 2017 · 17 · 505610.1021/acs.nanolett.7b02311 ↗

64. Cohen · ACS Nano · 2021 · 15 · 52610.1021/acsnano.0c05394 ↗

65. Chowdhury · ACS Omega · 2021 · 6 · 1034310.1021/acsomega.1c00727 ↗

66. Schaefer · Chem. Mater. · 2021 · 33 · 447410.1021/acs.chemmater.1c00646 ↗

67. Sun · Nat. Rev. Methods Primers · 2021 · 1 · 510.1038/s43586-020-00005-y ↗

68. Dapkus · Prog. Quantum Electron. · 2021 · 75 · 10030410.1016/j.pquantelec.2020.100304 ↗

69. Kim · Nat. Commun. · 2024 · 15 · 636110.1038/s41467-024-50653-x ↗

70. Eichfeld · ACS Nano · 2015 · 9 · 208010.1021/nn5073286 ↗

71. Tang · ACS Nano · 2020 · 14 · 464610.1021/acsnano.0c00296 ↗

72. Cho · Int. J. Heat Mass Transfer · 2000 · 43 · 185110.1016/S0017-9310(99)00251-3 ↗

73. Delgado Carrascon · Cryst. Growth Des. · 2022 · 22 · 702110.1021/acs.cgd.2c00683 ↗

74. Lisi · Sci. Rep. · 2017 · 7 · 992710.1038/s41598-017-09811-z ↗

75. Zhao · J. Cryst. Growth · 2006 · 289 · 7210.1016/j.jcrysgro.2005.11.083 ↗

76. Bointon · Adv. Mater. · 2015 · 27 · 420010.1002/adma.201501600 ↗

77. Li · J. Cryst. Growth · 2018 · 488 · 1610.1016/j.jcrysgro.2018.02.031 ↗

78. Macha · Nanoscale Adv. · 2022 · 4 · 439110.1039/D2NA00409G ↗

79. Lee · APL Mater. · 2020 · 8 · 03090110.1063/1.5142601 ↗

80. Kim · Adv. Mater. · 2019 · 31 · 180493910.1002/adma.201804939 ↗

81. S.Knapp , N.Eisenreich , V.Kuchenreuther-Hummel , S.Kelzenberg , A.Koleczko and H.Schuppler , Proc. 47th Int. Annu. Conf. ICT , Karlsruhe, Germany , 2016

82. Kimura · J. Cryst. Growth · 2003 · 250 · 45010.1016/S0022-0248(02)02478-8 ↗

83. Usoltsev · Radiochim. Acta · 2016 · 104 · 14110.1515/ract-2015-2445 ↗

84. Oshima · Int. J. Hydrogen Energy · 2020 · 45 · 2764410.1016/j.ijhydene.2020.07.106 ↗

85. Binoist · Ind. Eng. Chem. Res. · 2003 · 42 · 394310.1021/ie021012r ↗

86. Fujita · J. Cryst. Growth · 2000 · 221 · 38210.1016/S0022-0248(00)00718-1 ↗

87. Giani · J. Cryst. Growth · 2002 · 236 · 21710.1016/S0022-0248(01)02095-4 ↗

88. Pearson · Int. J. Hydrogen Energy · 1981 · 6 · 50910.1016/0360-3199(81)90082-3 ↗

89. Jackson · J. Cryst. Growth · 1988 · 87 · 20510.1016/0022-0248(88)90166-2 ↗

90. Mc Knight · J. Cryst. Growth · 2024 · 625 · 12743610.1016/j.jcrysgro.2023.127436 ↗

91. Zhang · Nano Lett. · 2018 · 18 · 104910.1021/acs.nanolett.7b04521 ↗

92. Tang · Cryst. Growth Des. · 2023 · 23 · 154710.1021/acs.cgd.2c01134 ↗

93. Lin · ACS Nano · 2018 · 12 · 96510.1021/acsnano.7b07059 ↗

94. Van Der Zande · Nat. Mater. · 2013 · 12 · 55410.1038/nmat3633 ↗

95. Zinke-Allmang · Surf. Sci. Rep. · 1992 · 16 · 37710.1016/0167-5729(92)90006-W ↗

96. Liu · Adv. Funct. Mater. · 2023 · 33 · 221277310.1002/adfm.202212773 ↗

97. I. V.Markov , Crystal growth for beginners: fundamentals of nucleation, crystal growth and epitaxy , World scientific , 2016

98. Chubarov · ACS Nano · 2021 · 15 · 253210.1021/acsnano.0c06750 ↗

99. Choi · Adv. Mater. Interfaces · 2022 · 9 · 210178510.1002/admi.202101785 ↗

100. Kim · Small · 2022 · 18 · 210636810.1002/smll.202106368 ↗