Atom Scale Characterization of the Near Apex Region of an Atomic Force Microscope Tip
Source abstract
Abstract
Abstract Three-dimensional atom probe tomography (APT) is successfully used to analyze the near-apex regions of an atomic force microscope (AFM) tip. Atom scale material structure and chemistry from APT analysis for standard silicon AFM tips and silicon AFM tips coated with a thin film of Cu is presented. Comparison of the thin film data with that observed using transmission electron microscopy indicates that APT can be reliably used to investigate the material structure and chemistry of the apex of an AFM tip at near atomic scales.
Source: crossref · Quality: baseline
Research context
OpenAlex topics: Advanced Materials Characterization Techniques · Force Microscopy Techniques and Applications · Surface and Thin Film Phenomena
SciVX discovery tags are terminology-based. OpenAlex topics are source-provided classifications.
References (65)
Show source-provided references
1. 10.1007/s00339005070310.1007/s003390050703 ↗
2. 10.6028/jres.102.03010.6028/jres.102.030 ↗
3. 10.1016/j.ultramic.2006.06.00710.1016/j.ultramic.2006.06.007 ↗
4. Analyzing Si-based structures in 3D with a laser-pulsed local electrode atom probe
5. 10.1016/j.ultramic.2004.01.01010.1016/j.ultramic.2004.01.010 ↗
6. 10.1016/j.bpc.2003.09.00110.1016/j.bpc.2003.09.001 ↗
7. 10.1155/2009/14720410.1155/2009/147204 ↗
8. 10.1016/j.ultramic.2008.12.00910.1016/j.ultramic.2008.12.009 ↗
9. 10.1080/0026897041000172767310.1080/00268970410001727673 ↗
10. 10.1002/anie.20030060910.1002/anie.200300609 ↗
11. 10.1039/B314626J10.1039/B314626J ↗
12. 10.1021/ac040081810.1021/ac0400818 ↗
13. 10.1038/nnano.2008.10010.1038/nnano.2008.100 ↗
14. 10.1023/A:102441341755310.1023/A:1024413417553 ↗
15. Miller · 199610.1093/oso/9780198513872.001.0001 ↗
16. 10.1002/sia.108610.1002/sia.1086 ↗
17. 10.1016/S0167-5729(99)00002-310.1016/S0167-5729(99)00002-3 ↗
18. Advances in atom probe specimen fabrication from planar multilayer thin film structures10.1007/S100050010058 ↗
19. 10.1063/1.270975810.1063/1.2709758 ↗
20. 10.1146/annurev.matsci.37.052506.08423910.1146/annurev.matsci.37.052506.084239 ↗
21. 10.1116/1.58913810.1116/1.589138 ↗
22. 10.1021/cr960067y10.1021/cr960067y ↗
23. 10.1126/science.106741010.1126/science.1067410 ↗
24. 10.1016/S1044-5803(99)00048-010.1016/S1044-5803(99)00048-0 ↗
25. Mayama · 2007 · 1610
26. 10.1016/j.scriptamat.2008.10.00810.1016/j.scriptamat.2008.10.008 ↗
27. 10.1016/j.ultramic.2007.01.01610.1016/j.ultramic.2007.01.016 ↗
28. 10.1073/pnas.05049859710.1073/pnas.050498597 ↗
29. 10.1016/0169-4332(94)00561-310.1016/0169-4332(94)00561-3 ↗
30. 10.1016/j.jssc.2008.06.00710.1016/j.jssc.2008.06.007 ↗
31. 10.1088/0034-4885/69/8/R0410.1088/0034-4885/69/8/R04 ↗
32. 10.1007/s11249-009-9483-x10.1007/s11249-009-9483-x ↗
33. 10.1016/j.ultramic.2004.10.01110.1016/j.ultramic.2004.10.011 ↗
34. 10.1016/S1044-5803(99)00047-910.1016/S1044-5803(99)00047-9 ↗
35. 10.1103/PhysRev.102.62410.1103/PhysRev.102.624 ↗
36. 10.1002/jemt.2010010.1002/jemt.20100 ↗
37. 10.1063/1.115002110.1063/1.1150021 ↗
38. 10.1146/annurev.physchem.49.1.29710.1146/annurev.physchem.49.1.297 ↗
39. 10.1016/S0304-3991(03)00110-410.1016/S0304-3991(03)00110-4 ↗
40. Larson · 1999 · 5989
41. 10.1146/annurev.matsci.29.1.5310.1146/annurev.matsci.29.1.53 ↗
42. 10.1063/1.168844610.1063/1.1688446 ↗
43. 10.1002/adma.20050070110.1002/adma.200500701 ↗
44. 10.1038/374607a010.1038/374607a0 ↗
45. 10.1146/annurev.matsci.37.052506.08432310.1146/annurev.matsci.37.052506.084323 ↗
46. 10.1088/0957-4484/16/11/00410.1088/0957-4484/16/11/004 ↗
47. 10.1016/j.triboint.2004.05.00910.1016/j.triboint.2004.05.009 ↗
48. 10.1017/S143192760707089410.1017/S1431927607070894 ↗
49. 10.1016/S0079-6425(01)00007-X10.1016/S0079-6425(01)00007-X ↗
50. 10.1007/978-1-4615-4281-010.1007/978-1-4615-4281-0 ↗
51. 10.1016/S1367-5931(98)80086-010.1016/S1367-5931(98)80086-0 ↗
52. 10.1146/annurev.matsci.27.1.17510.1146/annurev.matsci.27.1.175 ↗
53. 10.1051/epjap:199917310.1051/epjap:1999173 ↗
54. 10.1016/j.surfrep.2005.08.00310.1016/j.surfrep.2005.08.003 ↗
55. 10.1002/sia.248810.1002/sia.2488 ↗
56. 10.1021/nl049976q10.1021/nl049976q ↗
57. 10.1016/j.mser.2006.10.00110.1016/j.mser.2006.10.001 ↗
58. 10.1016/S0272-8842(00)00015-810.1016/S0272-8842(00)00015-8 ↗
59. 10.1021/a1000010810.1021/a10000108 ↗
60. 10.1021/cr960068q10.1021/cr960068q ↗
61. 10.1146/annurev.matsci.37.052506.08420010.1146/annurev.matsci.37.052506.084200 ↗
62. 10.1016/S1359-6454(01)00287-710.1016/S1359-6454(01)00287-7 ↗
63. 10.1002/marc.20090022010.1002/marc.200900220 ↗
64. 10.1021/la901221g10.1021/la901221g ↗
65. Oesterschulze · 2001 · 118 · 129