Preparation and characterization of phosphorus-doped aluminum oxide thin films
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Abstract
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Research context
OpenAlex topics: Semiconductor materials and devices · ZnO doping and properties · Catalytic Processes in Materials Science
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References (30)
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1. Fournier · Mater. Res. Bull. · 1988 · 23 · 3110.1016/0025-5408(88)90221-8 ↗
2. Duffy · RCA Review · 1970 · 31 · 754
3. Iida · Jpn. J. Appl. Phys. · 1972 · 11 · 84010.1143/JJAP.11.840 ↗
4. Brusasco · Mater. Res. Bull. · 1986 · 21 · 30110.1016/0025-5408(86)90186-8 ↗
5. Suntola · Annu. Rev. Mater. Sci. · 1985 · 15 · 17710.1146/annurev.ms.15.080185.001141 ↗
6. Antson · Fresenius Z. Anal. Chem. · 1985 · 322 · 17510.1007/BF00517656 ↗
7. Niinistö · Appl. Surf. Sci. · 1994 · 82/83 · 45410.1016/0169-4332(94)90258-5 ↗
8. Suntola · Mater. Sci. Rep. · 1989 · 4 · 2610.1016/S0920-2307(89)80006-4 ↗
9. Ritala · Thin Solid Films · 1993 · 225 · 28810.1016/0040-6090(93)90172-L ↗
10. Niinistö · Mater. Sci. Eng. B · 1996 · 41 · 2310.1016/S0921-5107(96)01617-0 ↗
11. Leskelä · J. Phys. IV · 1995 · C5 · 937
12. Pierson · 1992 · 226
13. Lakomaa · Appl. Surf. Sci. · 1992 · 60/61 · 74210.1016/0169-4332(92)90506-S ↗
14. Lakomaa · Appl. Surf. Sci. · 1996 · 107 · 10710.1016/S0169-4332(96)00513-2 ↗
15. Ott · Appl. Surf. Sci. · 1996 · 107 · 12810.1016/S0169-4332(96)00503-X ↗
16. Hiltunen · Mater. Chem. Phys. · 1991 · 28 · 37910.1016/0254-0584(91)90073-4 ↗
17. Higashi · Appl. Phys. Lett. · 1989 · 55 · 196310.1063/1.102337 ↗
18. Leskelä · Acta Polytech. Scand. Chem. Technol. Metall. (Finland) · 1990 · 195 · 193
19. Y.A. Ono, in Encyclopedia of Applied Physics, Vol. 5, p. 5295, VCH, New York (1993).
20. Meiners · Thin Solid Films · 1984 · 113 · 8510.1016/0040-6090(84)90017-8 ↗
21. J.-I. Watanabe, M. Wakitani, S. Sato, and S. Miura, SID 87 Dig., Tech. Pap. 16.1, 288 (1987).
22. Nieminen · Mikrochim. Acta · 1995 · 119 · 1310.1007/BF01244850 ↗
23. T. Suntola, A. Pakkanen, and S. Lindfors, U.S. Patent 4,389,973 (1983).
24. Bradley · 1978 · 11
25. Joint Committee of Powder Diffraction Standards, Card 26–34.
26. 1988 · B69
27. Swalen · Fourier Transform Infrared Spectrosc · 1985 · 4 · 28310.1016/B978-0-12-254104-9.50013-4 ↗
28. Gadsden · 1975 · 139
29. Calhup · 1975 · 342
30. Campelo · J. Catal. · 1980 · 101 · 48410.1016/0021-9517(86)90275-7 ↗