journal article·2013-07-14

Atomic layer deposition of epitaxial HfO2 thin films on r-cut sapphire

Hugo Mändar, Raul Rammula, Aleks Aidla, Jaan Aarik

Journal of Materials Research· Volume 28· Issue 13
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Abstract

Abstract
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Research context

OpenAlex topics: Semiconductor materials and devices · Electronic and Structural Properties of Oxides · Advancements in Semiconductor Devices and Circuit Design

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