Advances in the growth and characterization of Ge quantum dots and islands
Source abstract
Abstract
We review recent advances in the growth of Si1−xGex islands and Ge dots on (001) Si. We first discuss the evolution of the island morphology with Si1−xGex coverage and the effect of growth parameters or post-growth annealing on the shape of the islands and dots. We outline some of the structural and optical properties of Si1−xGex islands and assess progress in the determination of their composition and strain distribution. Finally, we discuss various approaches currently being investigated to engineer Si1−xGex quantum dots and in particular to control their size, density, and spatial distribution. For example, we show how C pre-deposition on Si (001) can influence the nucleation and growth of Ge islands.
Source: crossref · Quality: baseline
Research context
OpenAlex topics: Silicon Nanostructures and Photoluminescence · Semiconductor Quantum Structures and Devices · Photonic and Optical Devices
SciVX discovery tags are terminology-based. OpenAlex topics are source-provided classifications.
References (100+)
Show source-provided references
1. 10.1063/1.163599410.1063/1.1635994 ↗
2. 10.1103/PhysRevLett.70.96610.1103/PhysRevLett.70.966 ↗
3. 10.1016/S0040-6090(00)01494-210.1016/S0040-6090(00)01494-2 ↗
4. Baribeau · 1997 · 448 · 113
5. 10.1063/1.11091910.1063/1.110919 ↗
6. 10.1016/S0040-6090(00)01497-810.1016/S0040-6090(00)01497-8 ↗
7. 10.1063/1.156274710.1063/1.1562747 ↗
8. 10.1063/1.36949210.1063/1.369492 ↗
9. 10.1016/S0921-5107(01)00802-910.1016/S0921-5107(01)00802-9 ↗
10. Baribeau · 1999 · 45
11. 10.1016/S0038-1098(00)00111-310.1016/S0038-1098(00)00111-3 ↗
12. 10.1103/PhysRevB.68.03540210.1103/PhysRevB.68.035402 ↗
13. 10.1063/1.10782310.1063/1.107823 ↗
14. 10.1103/PhysRevLett.64.194310.1103/PhysRevLett.64.1943 ↗
15. 10.1103/PhysRevLett.85.169410.1103/PhysRevLett.85.1694 ↗
16. 10.1103/PhysRevB.43.1425710.1103/PhysRevB.43.14257 ↗
17. 10.1063/1.142595510.1063/1.1425955 ↗
18. 10.1103/PhysRevB.44.1152510.1103/PhysRevB.44.11525 ↗
19. 10.1016/S0040-6090(96)09240-110.1016/S0040-6090(96)09240-1 ↗
20. 10.1063/1.157591410.1063/1.1575914 ↗
21. 10.1103/PhysRevB.61.1372110.1103/PhysRevB.61.13721 ↗
22. 10.1063/1.35126210.1063/1.351262 ↗
23. 10.1103/PhysRevLett.94.17610210.1103/PhysRevLett.94.176102 ↗
24. 10.1063/1.35462810.1063/1.354628 ↗
25. 10.1063/1.131724510.1063/1.1317245 ↗
26. 10.1063/1.12368310.1063/1.123683 ↗
27. 10.1063/1.150761210.1063/1.1507612 ↗
28. 10.1063/1.145347610.1063/1.1453476 ↗
29. 10.1063/1.182916410.1063/1.1829164 ↗
30. 10.1016/S0370-1573(02)00009-110.1016/S0370-1573(02)00009-1 ↗
31. 10.1063/1.12513810.1063/1.125138 ↗
32. 10.1016/j.msec.2003.09.15610.1016/j.msec.2003.09.156 ↗
33. Self-organized growth of Ge quantum dots by UHV-CVD
34. Ge nanostructures grown by self-assembly; influence of substrate orientation
35. 10.1134/1.185344010.1134/1.1853440 ↗
36. 10.1016/S0040-6090(98)00443-X10.1016/S0040-6090(98)00443-X ↗
37. 10.1063/1.12039310.1063/1.120393 ↗
38. SiGe nanostructures: New insights into growth processes
39. 10.1103/PhysRevB.63.03531810.1103/PhysRevB.63.035318 ↗
40. Baribeau · 2005 · 832 · 93
41. 10.1103/PhysRevB.60.1560510.1103/PhysRevB.60.15605 ↗
42. 10.1103/PhysRevLett.90.06610510.1103/PhysRevLett.90.066105 ↗
43. 10.1016/S0040-6090(02)00241-910.1016/S0040-6090(02)00241-9 ↗
44. 10.1016/S0921-5107(01)00853-410.1016/S0921-5107(01)00853-4 ↗
45. 10.1063/1.10445410.1063/1.104454 ↗
46. 10.1063/1.12187510.1063/1.121875 ↗
47. 10.1063/1.11962510.1063/1.119625 ↗
48. 10.1134/1.138565810.1134/1.1385658 ↗
49. 10.1016/S1386-9477(02)00652-510.1016/S1386-9477(02)00652-5 ↗
50. 10.1063/1.10355810.1063/1.103558 ↗
51. 10.1016/S1386-9477(98)00161-110.1016/S1386-9477(98)00161-1 ↗
52. 10.1063/1.10401410.1063/1.104014 ↗
53. 10.1103/PhysRevLett.94.21610310.1103/PhysRevLett.94.216103 ↗
54. 10.1063/1.166401410.1063/1.1664014 ↗
55. Baribeau · 2005 · 1
56. 10.1063/1.12503110.1063/1.125031 ↗
57. 10.1063/1.157723010.1063/1.1577230 ↗
58. 10.1063/1.152721110.1063/1.1527211 ↗
59. 10.1016/S0040-6090(00)01496-610.1016/S0040-6090(00)01496-6 ↗
60. 10.1016/S0040-6090(00)01463-210.1016/S0040-6090(00)01463-2 ↗
61. 10.1103/PhysRevLett.80.126810.1103/PhysRevLett.80.1268 ↗
62. 10.1063/1.155821510.1063/1.1558215 ↗
63. 10.1103/PhysRevLett.85.367210.1103/PhysRevLett.85.3672 ↗
64. Instability of the separation boundary between a non-hydrostatically stressed elastic body and a melt
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66. 10.1103/PhysRevB.66.19540710.1103/PhysRevB.66.195407 ↗
67. 10.1103/PhysRevLett.93.21610110.1103/PhysRevLett.93.216101 ↗
68. 10.1016/S0040-6090(98)01243-710.1016/S0040-6090(98)01243-7 ↗
69. 10.1063/1.177145210.1063/1.1771452 ↗
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71. 10.1063/1.131724510.1063/1.1317245 ↗
72. 10.1063/1.153626510.1063/1.1536265 ↗
73. 10.1063/1.153743710.1063/1.1537437 ↗
74. 10.1063/1.142975710.1063/1.1429757 ↗
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77. 10.1063/1.139861510.1063/1.1398615 ↗
78. 10.1116/1.165085210.1116/1.1650852 ↗
79. 10.1016/S0040-6090(00)00846-410.1016/S0040-6090(00)00846-4 ↗
80. 10.1063/1.139297510.1063/1.1392975 ↗
81. 10.1016/0022-5096(94)90041-810.1016/0022-5096(94)90041-8 ↗
82. 10.1016/j.optmat.2004.08.00410.1016/j.optmat.2004.08.004 ↗
83. 10.1103/PhysRevB.66.08532110.1103/PhysRevB.66.085321 ↗
84. 10.1103/PhysRevLett.72.357010.1103/PhysRevLett.72.3570 ↗
85. 10.1016/j.crhy.2004.11.00110.1016/j.crhy.2004.11.001 ↗
86. 10.1016/S0921-5107(02)00755-910.1016/S0921-5107(02)00755-9 ↗
87. 10.1063/1.133368310.1063/1.1333683 ↗
88. 10.1016/j.apsusc.2003.09.00910.1016/j.apsusc.2003.09.009 ↗
89. 10.1063/1.12207910.1063/1.122079 ↗
90. 10.1103/PhysRevLett.76.167510.1103/PhysRevLett.76.1675 ↗
91. Tu · 1992
92. 10.1016/j.apsusc.2003.08.08110.1016/j.apsusc.2003.08.081 ↗
93. 10.1103/PhysRevLett.77.404610.1103/PhysRevLett.77.4046 ↗
94. 10.1002/pssb.20040209310.1002/pssb.200402093 ↗
95. 10.1063/1.155821510.1063/1.1558215 ↗
96. 10.1016/S0168-583X(02)01560-410.1016/S0168-583X(02)01560-4 ↗
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