journal article·2023Open access

Te and Ge solid-state reaction: comparison between the 2D and 3D growth of α-GeTe

Guillaume Roland, Alain Portavoce, Maxime Bertoglio, Marion Descoins, Jacopo Remondina, Frédéric Lorut, Magali Putero

Journal of Materials Chemistry C· Volume 11· Issue 9

Abstract

Te–Ge reactive diffusion has been studied by in situ XRD, in situ TEM, and atom probe tomography in a sample made of a poly-Te layer deposited on an amorphous Ge layer, and compared to the reverse case of an a-Ge layer deposited on a poly-Te layer.
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Research context

OpenAlex topics: Chalcogenide Semiconductor Thin Films · Phase-change materials and chalcogenides · Semiconductor materials and interfaces

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Affiliations

Aix Marseille Univ., CNRS, IM2NP UMR7334, Campus Scientifique de St Jérôme, 13397, Marseille cedex 20, France

STMicroelectronics, 850 rue Jean Monnet, 38920, Crolles, France

Funding

Association Nationale de la Recherche et de la Technologie

References (53)

Show source-provided references
1. Raoux · IBM J. Res. Dev. · 2008 · 52 · 46510.1147/rd.524.0465 ↗
2. Noé · Semicond. Sci. Technol. · 2018 · 33 · 1300210.1088/1361-6641/aa7c25 ↗
3. Wuttig · Nat. Mater. · 2007 · 6 · 82410.1038/nmat2009 ↗
4. Yamada · Phys. Status Solidi B · 2012 · 249 · 183710.1002/pssb.201200618 ↗
5. Privitera · Appl. Phys. Lett. · 2004 · 85 · 304410.1063/1.1805200 ↗
6. Gomiero · IEEE J. Electron Devices Soc. · 2019 · 7 · 51710.1109/JEDS.2019.2913467 ↗
7. Berthier · J. Appl. Phys. · 2017 · 122 · 11530410.1063/1.5002637 ↗
8. Bruns · Appl. Phys. Lett. · 2009 · 95 · 04310810.1063/1.3191670 ↗
9. Suwardi · J. Mater. Chem. C · 2020 · 8 · 1694010.1039/D0TC04903D ↗
10. Li · NPG Asia Mater. · 2017 · 9 · e35310.1038/am.2017.8 ↗
11. Perumal · J. Mater. Chem. C · 2016 · 4 · 752010.1039/C6TC02501C ↗
12. El-Hinnawy · IEEE Electron Device Lett. · 2013 · 34 · 131310.1109/LED.2013.2278816 ↗
13. T.Singh and R. R.Mansour , 2018 IEEE MTT-S Int. Microw. Work. Ser. Adv. Mater. Process. RF THz Appl. IMWS-AMP 2018, 2018, 1–3
14. A.Ghalem , A.Hariri , C.Guines , D.Passerieux , L.Huitema , P.Blondy and A.Crunteanu , in 2017 IEEE MTT-S International Microwave Workshop Series on Advanced Materials and Processes for RF and THz Applications (IMWS-AMP), 2017, pp. 1–3
15. Wang · J. Phys. Chem. C · 2014 · 118 · 2972410.1021/jp507183f ↗
16. Wang · Sci. Rep. · 2016 · 6 · 110.1038/s41598-016-0001-8 ↗
17. Zhang · ACS Nano · 2021 · 15 · 286910.1021/acsnano.0c08842 ↗
18. Sun · J. Phys. D: Appl. Phys. · 2015 · 48 · 29530410.1088/0022-3727/48/29/295304 ↗
19. Matsushita · J. Non-Cryst. Solids · 1989 · 112 · 21110.1016/0022-3093(89)90524-3 ↗
20. Gallard · Acta Mater. · 2020 · 191 · 6010.1016/j.actamat.2020.04.001 ↗
21. A.Fantini , V.Sousa , L.Perniola , E.Gourvest , J. C.Bastien , S.Maitrejean , S.Braga , N.Pashkov , A.Bastard , B.Hyot , A.Roule , A.Persico , H.Feldis , C.Jahan , J. F.Nodin , D.Blachier , A.Toffoli , G.Reimbold , F.Fillot , F.Pierre , R.Annunziata , D.Benshael , P.Mazoyer , C.Vallée , T.Billon , J.Hazart , B.De Salvo and F.Boulanger , Tech. Dig. - Int. Electron Devices Meet. IEDM , 2010, 644647
22. Navarro · IEEE Int. Reliab. Phys. Symp. Proc. · 2013 · 5
23. Gourvest · J. Electrochem. Soc. · 2012 · 159 · H37310.1149/2.027204jes ↗
24. Libera · J. Appl. Phys. · 1993 · 73 · 227210.1063/1.353132 ↗
25. Carria · J. Electrochem. Soc. · 2011 · 159 · H13010.1149/2.048202jes ↗
26. Kolb · ACS Appl. Electron. Mater. · 2019 · 1 · 70110.1021/acsaelm.9b00070 ↗
27. Santala · Phys. Status Solidi · 2012 · 249 · 190710.1002/pssb.201200418 ↗
28. Raoux · Appl. Phys. Lett. · 2009 · 95 · 1
29. D.Mangelinck , M.Putero , M.Descoins and C.Perrin-Pellegrino , in 2015 IEEE International Interconnect Technology Conference and 2015 IEEE Materials for Advanced Metallization Conference, IITC/MAM 2015, 2015, pp. 71–73
30. Yashina · Solid State Ionics · 2001 · 141–142 · 51310.1016/S0167-2738(01)00785-8 ↗
31. Yashina · J. Appl. Phys. · 2008 · 103 · 09490910.1063/1.2912958 ↗
32. Gambino · Mater. Chem. Phys. · 1998 · 52 · 9910.1016/S0254-0584(98)80014-X ↗
33. Pawlak · Microelectron. Eng. · 2004 · 76 · 34910.1016/j.mee.2004.07.037 ↗
34. Breil · Microelectron. Eng. · 2015 · 137 · 7910.1016/j.mee.2014.12.013 ↗
35. Perrin Toinin · Microelectron. Eng. · 2017 · 167 · 5210.1016/j.mee.2016.11.002 ↗
36. Esposito · J. Appl. Phys. · 2020 · 128 · 8530510.1063/5.0016091 ↗
37. Kovsarian · J. Electron. Mater. · 1998 · 27 · 126810.1007/s11664-998-0081-8 ↗
38. Nemanich · J. Vac. Sci. Technol., B: Microelectron. Nanometer Struct.–Process., Meas., Phenom. · 1983 · 1 · 51910.1116/1.582592 ↗
39. Ottaviani · Thin Solid Films · 1977 · 47 · 18710.1016/0040-6090(77)90359-5 ↗
40. Habanyama · Johnson Matthey Technol. Rev. · 2018 · 62 · 21110.1595/205651318X696639 ↗
41. Perrin · Mater. Sci. Eng. B · 2008 · 154–155 · 16310.1016/j.mseb.2008.09.042 ↗
42. Gas · Appl. Surf. Sci. · 1993 · 73 · 15310.1016/0169-4332(93)90160-D ↗
43. Roland · J. Alloys Compd. · 2022 · 924 · 16661410.1016/j.jallcom.2022.166614 ↗
44. Holzwarth · Nat. Nanotechnol. · 2011 · 6 · 53410.1038/nnano.2011.145 ↗
45. Nemouchi · Microelectron. Eng. · 2006 · 83 · 210110.1016/j.mee.2006.09.014 ↗
46. Gösele · J. Appl. Phys. · 1989 · 66 · 261910.1063/1.344229 ↗
47. Mehrer · Diffus. Found. · 2018 · 17 · 110.4028/www.scientific.net/DF.17.1 ↗
48. De Schutter · Appl. Phys. Rev. · 2016 · 3 · 03130210.1063/1.4960122 ↗
49. Nemouchi · Appl. Phys. Lett. · 2005 · 86 · 04190310.1063/1.1852727 ↗
50. Khoo · J. Mater. Sci. · 2016 · 51 · 186410.1007/s10853-015-9493-z ↗
51. Szkutnik · J. Appl. Phys. · 2017 · 121 · 10530110.1063/1.4978020 ↗
52. Chen · J. Non-Cryst. Solids · 2020 · 531 · 11986210.1016/j.jnoncrysol.2019.119862 ↗
53. Portavoce · Phys. Rev. B: Condens. Matter Mater. Phys. · 2012 · 85 · 110.1103/PhysRevB.85.224101 ↗