Comprehensive study of high stability AlN based solar blind MSM photodetectors with Ti/Au contacts
Source abstract
Abstract
Improving the contact quality and improving the surface of aluminum nitride are critical factors in developing high-performance, stable photodetectors.
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Research context
OpenAlex topics: GaN-based semiconductor devices and materials · Ga2O3 and related materials · Optical Coatings and Gratings
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Affiliations
Department of Semiconductor Systems Engineering and Convergence Engineering for Intelligent Drone, Sejong University, Seoul 05006, Republic of Korea
Institute of Semiconductor and System IC, Sejong University, Seoul 05006, Republic of Korea
Department of Chemical Engineering, University of Florida, Gainesville, FL 32611, USA
Department of Materials Science and Engineering, University of Florida, Gainesville, FL 32611, USA
Funding
Ministry of Trade, Industry and Energy
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