Preparation and transformation of color centers in 4 H -SiC by electron irradiation and subsequent annealing
Source abstract
Abstract
The conversion from V Si to CAV induced by 2 MeV 10 16 e cm −2 was compared with that induced by annealing, and the latter was more thorough. The optimized preparation conditions are: 2 MeV is prone to CAV and 10 MeV corresponding to V Si .
Source: crossref · Quality: baseline
Research context
OpenAlex topics: Silicon Carbide Semiconductor Technologies · Semiconductor materials and devices · Ion-surface interactions and analysis
SciVX discovery tags are terminology-based. OpenAlex topics are source-provided classifications.
Affiliations
Center for Optics Research and Engineering, Shandong University, 266237 Qingdao, China
Key Laboratory of Laser and Infrared System, Ministry of Education, Shandong University, 266237 Qingdao, China
Funding
Shandong University · Key Technologies Research and Development Program · Fundamental Research Fund of Shandong University
References (50)
Show source-provided references
1. Rabkowski · IEEE Trans. Ind. Electron. Control Instrum. · 2012 · 6 · 17
2. Elasser · Proc. IEEE · 2002 · 90 · 96910.1109/JPROC.2002.1021562 ↗
3. Wang · Appl. Phys. Lett. · 2023 · 122 · 18050110.1063/5.0145350 ↗
4. Lohrmann · Rep. Prog. Phys. · 2017 · 80 · 03450210.1088/1361-6633/aa5171 ↗
5. Yan · Npj Quantum Inf. · 2020 · 6 · 3810.1038/s41534-020-0270-8 ↗
6. Wang · Nat. Mater. · 2023 · 22 · 48910.1038/s41563-023-01477-5 ↗
7. Lee · Phys. Rev. B: Condens. Matter Mater. Phys. · 2015 · 92 · 11520110.1103/PhysRevB.92.115201 ↗
8. Niethammer · Phys. Rev. Appl. · 2016 · 6 · 03400110.1103/PhysRevApplied.6.034001 ↗
9. Anisimov · Sci. Rep. · 2016 · 6 · 3330110.1038/srep33301 ↗
10. Kraus · Sci. Rep. · 2014 · 4 · 110.1038/srep05303 ↗
11. Liu · Nano Lett. · 2022 · 22 · 288110.1021/acs.nanolett.2c00040 ↗
12. Castelletto · Nat. Mater. · 2014 · 13 · 15110.1038/nmat3806 ↗
13. Castelletto · ACS Nano · 2014 · 8 · 793810.1021/nn502719y ↗
14. Von Bardeleben · Phys. Rev. B · 2020 · 101 · 18410810.1103/PhysRevB.101.184108 ↗
15. Steeds · Phys. Rev. B: Condens. Matter Mater. Phys. · 2009 · 80 · 24520210.1103/PhysRevB.80.245202 ↗
16. Christle · Nat. Mater. · 2015 · 14 · 16010.1038/nmat4144 ↗
17. Falk · Nat. Commun. · 2013 · 4 · 181910.1038/ncomms2854 ↗
18. Zhou · Phys. Rev. Appl. · 2017 · 8 · 04401510.1103/PhysRevApplied.8.044015 ↗
19. Yan · Phys. Rev. Appl. · 2018 · 10 · 04404210.1103/PhysRevApplied.10.044042 ↗
20. Pavunny · Sci. Rep. · 2021 · 11 · 356110.1038/s41598-021-82832-x ↗
21. Castelletto · Nanomaterials · 2020 · 11 · 7210.3390/nano11010072 ↗
22. Castelletto · Nat. Mater. · 2014 · 13 · 15110.1038/nmat3806 ↗
23. Widmann · Nat. Mater. · 2015 · 14 · 16410.1038/nmat4145 ↗
24. Christle · Phys. Rev. X · 2017 · 7 · 021046
25. Widmann · Nat. Mater. · 2015 · 14 · 16410.1038/nmat4145 ↗
26. Soltamov · Nat. Commun. · 2019 · 10 · 167810.1038/s41467-019-09429-x ↗
27. Nagy · Nat. Commun. · 2019 · 10 · 195410.1038/s41467-019-09873-9 ↗
28. Niethammer · Nat. Commun. · 2019 · 10 · 556910.1038/s41467-019-13545-z ↗
29. Umeda · Phys. Rev. Lett. · 2006 · 96 · 14550110.1103/PhysRevLett.96.145501 ↗
30. Bathen · npj Quantum Inf. · 2019 · 5 · 11110.1038/s41534-019-0227-y ↗
31. Castelletto · IOP Conf. Ser.: Mater. Sci. Eng. · 2020 · 840 · 01201010.1088/1757-899X/840/1/012010 ↗
32. Zhou · Nanomanuf. Metrol. · 2023 · 6 · 710.1007/s41871-023-00186-6 ↗
33. Kuate Defo · Phys. Rev. B · 2018 · 98 · 10410310.1103/PhysRevB.98.104103 ↗
34. Lingner · Phys. Rev. B: Condens. Matter Mater. Phys. · 2001 · 64 · 24521210.1103/PhysRevB.64.245212 ↗
35. Rauls · Phys. Rev. B: Condens. Matter Mater. Phys. · 2003 · 68 · 15520810.1103/PhysRevB.68.155208 ↗
36. Eberlein · Phys. Rev. B: Condens. Matter Mater. Phys. · 2002 · 65 · 18410810.1103/PhysRevB.65.184108 ↗
37. Son · J. Appl. Phys. · 2021 · 129 · 21570210.1063/5.0052131 ↗
38. Kawasuso · Appl. Phys. A · 1998 · 67 · 20910.1007/s003390050759 ↗
39. Bockstedte · Phys. Rev. B · 2015 · 91 · 12120110.1103/PhysRevB.91.121201 ↗
40. Bockstedte · Phys. Rev. B: Condens. Matter Mater. Phys. · 2003 · 68 · 20520110.1103/PhysRevB.68.205201 ↗
41. Castelletto · JPhys Photonics · 2020 · 2 · 02200110.1088/2515-7647/ab77a2 ↗
42. Wagner · Phys. Rev. B: Condens. Matter Mater. Phys. · 2000 · 62 · 1655510.1103/PhysRevB.62.16555 ↗
43. Castelletto · Beilstein J. Nanotechnol. · 2019 · 10 · 238310.3762/bjnano.10.229 ↗
44. Soykal · Phys. Rev. B · 2016 · 93 · 08120710.1103/PhysRevB.93.081207 ↗
45. Janzén · Phys. B · 2009 · 404 · 435410.1016/j.physb.2009.09.023 ↗
46. Dong · Phys. Rev. B · 2019 · 99 · 18410210.1103/PhysRevB.99.184102 ↗
47. C. A.Kasper , Engineering of highly coherent silicon vacancy defects in silicon carbide , PhD diss., Universität Würzburg , 2021
48. Nagy · Phys. Rev. Appl. · 2018 · 9 · 03402210.1103/PhysRevApplied.9.034022 ↗
49. Wang · Phys. Rev. Appl. · 2017 · 7 · 06402110.1103/PhysRevApplied.7.064021 ↗
50. Wang · ACS Photonics · 2017 · 4 · 105410.1021/acsphotonics.7b00230 ↗