Cathodic arc plasma deposition of nano-multilayered ZrN/AlSiN thin films
Bibliographic record
Abstract
No abstract is available for this record. The assistant can identify its topic from the title, but cannot infer the study’s results.
Source: Not provided · Quality: missing
Research context
OpenAlex topics: Metal and Thin Film Mechanics · Diamond and Carbon-based Materials Research · Semiconductor materials and devices
SciVX discovery tags are terminology-based. OpenAlex topics are source-provided classifications.
References (25)
Show source-provided references
1. Hsiao · Mater. Sci. Eng., A · 2009 · 500 · 10410.1016/j.msea.2008.09.006 ↗
2. Auger · Vacuum · 2007 · 81 · 146210.1016/j.vacuum.2007.04.009 ↗
3. Niu · Mater. Sci. Eng., A · 2007 · 460–461 · 13510.1016/j.msea.2007.02.085 ↗
4. Wen · Surf. Coat. Technol. · 2003 · 167 · 5910.1016/S0257-8972(02)00882-4 ↗
5. Mernagh · Surf. Coat. Technol. · 1991 · 49 · 46210.1016/0257-8972(91)90101-2 ↗
6. Thieme · Corros. Sci. · 1993 · 34 · 155710.1016/0010-938X(93)90249-G ↗
7. Sanjines · Surf. Coat. Technol. · 2006 · 200 · 630810.1016/j.surfcoat.2005.11.113 ↗
8. Del Re · Surf. Coat. Technol. · 2005 · 200 · 9410.1016/j.surfcoat.2005.02.155 ↗
9. Wong · Surf. Coat. Technol. · 2000 · 133–134 · 16010.1016/S0257-8972(00)00958-0 ↗
10. Mae · Surf. Coat. Technol. · 2001 · 142–144 · 95410.1016/S0257-8972(01)01187-2 ↗
11. Winkelmann · Surf. Coat. Technol. · 2006 · 200 · 421310.1016/j.surfcoat.2005.01.004 ↗
12. Nose · Surf. Coat. Technol. · 2000 · 132 · 16310.1016/S0257-8972(00)00914-2 ↗
13. Kim · Surf. Coat. Technol. · 2005 · 200 · 139110.1016/j.surfcoat.2005.08.109 ↗
14. Kim · Surf. Coat. Technol. · 2008 · 202 · 540010.1016/j.surfcoat.2008.06.019 ↗
15. Kim · Surf. Coat. Technol. · 2008 · 202 · 539510.1016/j.surfcoat.2008.06.020 ↗
16. Klug · 1974
17. Parlinska-Wojtan · Surf. Coat. Technol. · 2004 · 177–178 · 37610.1016/j.surfcoat.2003.09.030 ↗
18. Chhowalla · Nat. Mater. · 2005 · 4 · 31710.1038/nmat1338 ↗
19. Chu · J. Vac. Sci. Technol., A · 1992 · 10 · 160410.1116/1.578030 ↗
20. Hultman · J. Vac. Sci. Technol., A · 1992 · 10 · 161810.1116/1.578032 ↗
21. Chu · Surf. Coat. Technol. · 1993 · 57 · 1310.1016/0257-8972(93)90331-H ↗
22. Sproul · Surf. Coat. Technol. · 1996 · 86/87 · 17010.1016/S0257-8972(96)02977-5 ↗
23. Barshilia · Bull. Mater. Sci. · 2003 · 26 · 23310.1007/BF02707797 ↗
24. Sproul · Science · 1996 · 273 · 88910.1126/science.273.5277.889 ↗
25. Oettel · Surf. Coat. Technol. · 1995 · 76–77 · 26510.1016/0257-8972(95)02581-2 ↗