Influence of gas pressure on the ion current and its distribution in a filtered vacuum arc deposition system

journal article·1996-12

V.N. Zhitomirsky, U. Kinrot, B. Alterkop, R.L. Boxman, S. Goldsmith

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Abstract

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OpenAlex topics: Advanced Sensor Technologies Research · Vacuum and Plasma Arcs · Metal and Thin Film Mechanics

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