Comparison of microwave and r.f. plasmas: fundamentals and applications
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Abstract
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Research context
OpenAlex topics: Plasma Diagnostics and Applications · Copper Interconnects and Reliability · Semiconductor materials and devices
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References (32)
Show source-provided references
1. 1986
2. 1989
3. 1991
4. 1991 · Vol. 266
5. E.M. Liston, L. Martinu and M.R. Wertheimer, J. Adhes. Sci. Technol., in press.
6. Wertheimer · J. Vac. Sci. Technol. A · 1985 · 3 · 264310.1116/1.572805 ↗
7. Flamm · J. Vac. Sci. Technol. A · 1986 · 4 · 72910.1116/1.573821 ↗
8. Claude · Plasma Chem. Plasma Process. · 1987 · 7 · 45110.1007/BF01030489 ↗
9. Moisan · J. Vac. Sci. Technol. B · 1991 · 9 · 810.1116/1.585795 ↗
10. 1992
11. 1993 · Vol. 302
12. Winkler · Ann. Phys. · 1985 · 42 · 53710.1002/andp.19854970421 ↗
13. Ferreira · 1992
14. Ferreira · J. Phys. D · 1984 · 17 · 117510.1088/0022-3727/17/6/014 ↗
15. Finger · J. Appl. Phys. · 1992 · 71 · 566510.1063/1.350500 ↗
16. Oda · Jpn. J. Appl. Phys. · 1990 · 29 · 188910.1143/JJAP.29.1889 ↗
17. Moisan · 1985 · 381
18. Sauvé · Appl. Phys. Lett. · 1988 · 53 · 47010.1063/1.99872 ↗
19. Coburn · J. Appl. Phys. · 1980 · 57 · 313410.1063/1.328060 ↗
20. Lamontagne · J. Phys. D · 1987 · 20 · 84410.1088/0022-3727/20/7/005 ↗
21. Lamontagne · Can. J. Phys. · 1991 · 69 · 20210.1139/p91-033 ↗
22. Wrobel · Plasma Chem. Plasma Process. · 1988 · 8 · 31510.1007/BF01020409 ↗
23. Chou · J. Vac. Sci. Technol. A · 1987 · 5 · 132110.1116/1.574761 ↗
24. Egitto · J. Vac. Sci. Technol. B · 1985 · 3 · 89310.1116/1.583078 ↗
25. Egitto · 1991
26. Ferreira · IEEE Trans. Plasma Sci. · 1991 · 19 · 22910.1109/27.106818 ↗
27. Chapman · 1980
28. Wild · J. Appl. Phys. · 1991 · 69 · 290910.1063/1.348601 ↗
29. Küttel · Thin Solid Films · 1990 · 193–194 · 15510.1016/S0040-6090(05)80023-9 ↗
30. Klemberg-Sapieha · Thin Solid Films · 1990 · 193–194 · 96510.1016/0040-6090(90)90251-8 ↗
31. Wertheimer · 1993 · Vol. 302 · 465
32. Martinu · Thin Solid Films · 1992 · 208 · 4210.1016/0040-6090(92)90945-8 ↗