journal article·1996-04

Titanocene dichloride used as a precursor for the chemical vapor deposition of titanium carbide: influence of gas phase transport

J. Slifirski, F. Teyssandier

Surface and Coatings Technology· Volume 80· Issue 3
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Abstract

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Research context

OpenAlex topics: Advanced Sensor Technologies Research · Metal and Thin Film Mechanics · Adhesion, Friction, and Surface Interactions

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