TiO 2 中间层对基于溶胶-凝胶法制备的VO 2 薄膜光学特性的影响

为了提高VO 2 薄膜的热致相变性能, 采用复合结构与掺杂相结合的方法, 首先通过溶胶–凝胶法在云母基底上制备锐钛型TiO 2 薄膜, 再在光致亲水性处理的TiO 2 /云母基底上涂覆V 2 O 5 以及掺钨V 2 O 5 水溶胶, 然后经热处理获得VO 2 /TiO 2 及V x W 1- x O 2 /TiO 2 复合薄膜。采用X射线衍射仪(XRD)、场发射扫描电子显微镜(FESEM)、傅立叶变换红外光谱仪(FTIR)研究薄膜的物相、表面形貌以及热致相变特性. 结果表明, VO 2 /TiO 2 复合薄膜晶体生长为(011)面择优取向; V x W 1- x O 2 /TiO 2 复合薄膜产生多种取向。TiO 2 中间层有助于使VO 2 薄膜生长致密, 相变温度降低, 更使V x W 1- x O 2 /TiO 2 复合薄膜滞后温宽降至约4℃。