扫描透射电子显微镜(STEM)在新一代高K栅介质材料的应用
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Abstract
扫描透射电子显微镜(STEM)原子序数衬度像(Z-衬度像)具有分辨率高(可直接“观察”到晶体中原子的真实位置)、对化学组成敏感以及图像直观易解释等优点, 成为原子尺度研究材料微结构的强有力工具。本文介绍了STEM Z-衬度像成像原理、方法及技术特点, 并结合具体的高K栅介质材料 (如铪基金属氧化物、稀土金属氧化物和钙钛矿结构外延氧化物薄膜)对STEM在新一代高K栅介质材料研究中的应用进行了评述。 目前球差校正STEM Z-衬度的像空间分辨率已达亚埃级, 该技术在高K柵介质与半导体之间的界面微结构表征方面具有十分重要的应用。对此, 本文亦进行了介绍。
Source: openalex_inverted_index · Quality: baseline
Research context
OpenAlex topics: Advanced Electron Microscopy Techniques and Applications · Electron and X-Ray Spectroscopy Techniques · Gold and Silver Nanoparticles Synthesis and Applications
SciVX discovery tags are terminology-based. OpenAlex topics are source-provided classifications.
References
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