Ambient AFM Nanoscale Oxidation of Hydrogen‐Passivated Silicon with Conductive‐Diamond‐Coated Probes
Source abstract
Abstract
Tip top: Wear resistant, conductive boron-doped diamond-coated AFM tips enable reliable nanoscale oxidation of hydrogen-terminated silicon with sub-20-nm spatial resolution (see image) and nanopatterning threshold biases as low as 1 V. Despite relatively high currents during nanopatterning, the kinetics are quantitatively consistent with an electric-field-induced mechanism.
Source: openalex_inverted_index · Quality: baseline
Research context
OpenAlex topics: Force Microscopy Techniques and Applications · Nanowire Synthesis and Applications · Integrated Circuits and Semiconductor Failure Analysis
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References (49)
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1. 10.1021/nl048014g10.1021/nl048014g ↗
2. 10.1002/adma.20040146610.1002/adma.200401466 ↗
3. 10.1021/nl050524310.1021/nl0505243 ↗
4. 10.1021/nl048275q10.1021/nl048275q ↗
5. 10.1063/1.161379910.1063/1.1613799 ↗
6. 10.1021/ja035857l10.1021/ja035857l ↗
7. 10.1063/1.153526710.1063/1.1535267 ↗
8. 10.1002/jemt.2010010.1002/jemt.20100 ↗
9. 10.1002/ange.20035125610.1002/ange.200351256 ↗
10. 10.1002/anie.20035125610.1002/anie.200351256 ↗
11. 10.1021/ja029856p10.1021/ja029856p ↗
12. 10.1126/science.107148010.1126/science.1071480 ↗
13. 10.1021/ja005654m10.1021/ja005654m ↗
14. 10.1002/(SICI)1521-4095(199901)11:1<55::AID-ADMA55>3.0.CO;2-810.1002/(SICI)1521-4095(199901)11:1<55::AID-ADMA55>3.0.CO;2-8 ↗
15. 10.1126/science.283.5402.66110.1126/science.283.5402.661 ↗
16. 10.1021/la962029f10.1021/la962029f ↗
17. 10.1021/ja971027u10.1021/ja971027u ↗
18. 10.1063/1.10299910.1063/1.102999 ↗
19. 10.1021/nl034191q10.1021/nl034191q ↗
20. 10.1126/science.109067710.1126/science.1090677 ↗
21. 10.1021/nl034858910.1021/nl0348589 ↗
22. 10.1063/1.180238410.1063/1.1802384 ↗
23. 10.1063/1.11410510.1063/1.114105 ↗
24. 10.1126/science.270.5242.163910.1126/science.270.5242.1639 ↗
25. 10.1143/JJAP.34.138710.1143/JJAP.34.1387 ↗
26. 10.1063/1.12154410.1063/1.121544 ↗
27. 10.1109/TNANO.2002.100542510.1109/TNANO.2002.1005425 ↗
28. 10.1002/smll.20060043110.1002/smll.200600431 ↗
29. 10.1016/j.sna.2005.09.00110.1016/j.sna.2005.09.001 ↗
30. 10.1063/1.114564910.1063/1.1145649 ↗
31. 10.1007/s00339005124710.1007/s003390051247 ↗
32. 10.1063/1.11952110.1063/1.119521 ↗
33. 10.1063/1.36833410.1063/1.368334 ↗
34. 10.1016/j.progsurf.2006.01.00310.1016/j.progsurf.2006.01.003 ↗
35. 10.1063/1.11486110.1063/1.114861 ↗
36. 10.1063/1.36898610.1063/1.368986 ↗
37. 10.1063/1.12645110.1063/1.126451 ↗
38. 10.1002/adma.20050123110.1002/adma.200501231 ↗
39. 10.1007/s00339005121810.1007/s003390051218 ↗
40. 10.1063/1.37351010.1063/1.373510 ↗
41. 10.1016/S0921-5107(02)00635-910.1016/S0921-5107(02)00635-9 ↗
42. 10.1016/S0013-4686(01)00581-310.1016/S0013-4686(01)00581-3 ↗
43. 10.1116/1.59120510.1116/1.591205 ↗
44. 10.1116/1.59110410.1116/1.591104 ↗
45. 10.1016/S0925-9635(02)00162-010.1016/S0925-9635(02)00162-0 ↗
46. 10.1063/1.177182010.1063/1.1771820 ↗
47. 10.1088/0957-4484/14/7/30510.1088/0957-4484/14/7/305 ↗
48. 10.1021/la062759f10.1021/la062759f ↗
49. 10.1016/j.ultramic.2003.12.00510.1016/j.ultramic.2003.12.005 ↗