Strain relaxation mechanisms of thin deposited films
Source abstract
Abstract
Revue des mecanismes de relaxation de deformation de couches minces en utilisant des donnees de couches de plomb et d'alliages de plomb sur le silicium. Influence de la microstructure sur le mecanisme de relaxation, du support et de la couche superficielle d'oxyde
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Research context
OpenAlex topics: Metal and Thin Film Mechanics · Copper Interconnects and Reliability · Semiconductor materials and devices
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