journal article·2006-12-01

Atomic Layer Deposition of Uniform Metal Coatings on Highly Porous Aerogel Substrates

Theodore F. Baumann, Juergen Biener, Yinmin M. Wang, Sergei O. Kucheyev, Erik J. Nelson, Joe H. Satcher, Jeffrey W. Elam, Michael J. Pellin, Alex V. Hamza

Chemistry of Materials· Volume 18· Issue 26
Publisher page

Abstract

In this communication, we use atomic layer deposition (ALD) as a means for depositing tungsten metal coatings on the skeletal network of highly porous aerogel substrates. The approach presented here could be extended to a wide range of metals and aerogels, allowing for the design of metal nanostructures with controlled properties.
Source: openalex_inverted_index · Quality: baseline

Research context

OpenAlex topics: Catalytic Processes in Materials Science · Nanoporous metals and alloys · Aerogels and thermal insulation

SciVX discovery tags are terminology-based. OpenAlex topics are source-provided classifications.

Affiliations

Lawrence Livermore National Laboratory, Chemistry and Material Science Directorate, Livermore, California 94551, and Argonne National Laboratory, Energy Systems Division, Argonne, Illinois 60439

References (37)

Show source-provided references
1. Weissmüller J. · Science · 2003 · 300 · 31210.1126/science.1081024 ↗
2. Chan S. · Adv. Mater. · 2003 · 15 · 159510.1002/adma.200305149 ↗
3. Kramer D. · Nano Lett. · 2004 · 4 · 79310.1021/nl049927d ↗
4. He X. · Angew. Chem., Int. Ed. · 2002 · 41 · 21410.1002/1521-3773(20020118)41:2<214::AID-ANIE214>3.0.CO;2-D ↗
5. Velev O. D. · Nature · 1999 · 401 · 54810.1038/44065 ↗
6. Jiang P. · J. Am. Chem. Soc. · 1999 · 121 · 795710.1021/ja991321h ↗
7. Ding Y. · J. Am. Chem. Soc. · 2003 · 125 · 777210.1021/ja035318g ↗
8. Erlenbacher J. · Nature · 2001 · 410 · 45010.1038/35068529 ↗
9. Pugh D. V. · J. Mater. Res. · 2003 · 18 · 2166
10. Sun L. · Chem. Mater. · 2004 · 166 · 312510.1021/cm0497881 ↗
11. Zhao X. S. · J. Mater. Chem. · 2006 · 16 · 63710.1039/B513060C ↗
12. Stein A. · Adv. Mater. · 2003 · 15 · 76310.1002/adma.200300007 ↗
13. Schüth F. · Angew. Chem., Int. Ed. · 2003 · 42 · 360410.1002/anie.200300593 ↗
14. Davis M. · Nature · 2002 · 417 · 81310.1038/nature00785 ↗
15. Huczko A. · Appl. Phys. A · 2000 · 70 · 36510.1007/s003390051050 ↗
16. Ashby, M. F.; Evans, A. G.; Fleck, N. A.; Gibson, L. J.; Hutchinson, J. W.; Wadley, H. N. G.Metal Foams: A Design Guide; Butterworth-Heinemann: Boston, 2000.10.1115/1.1421119 ↗
17. Banhart J. · Prog. Mater. Sci. · 2001 · 46 · 55910.1016/S0079-6425(00)00002-5 ↗
18. Walsh D. · Nat. Mater. · 2003 · 2 · 38610.1038/nmat903 ↗
19. Xu H. · Small · 2005 · 1 · 80810.1002/smll.200500047 ↗
20. Shin H. C. · Adv. Mater. · 2003 · 15 · 161010.1002/adma.200305160 ↗
21. Lei Y. · Chem. Phys. Lett. · 2003 · 380 · 31310.1016/j.cplett.2003.09.025 ↗
22. Brothers A. H. · Adv. Mater. · 2005 · 17 · 48410.1002/adma.200400897 ↗
23. Bartlett P. N. · Chem. Mater. · 2002 · 14 · 219910.1021/cm011272j ↗
24. Bartlett P. N. · Chem. Mater. · 2003 · 15 · 296210.1021/cm0210400 ↗
25. Baumann, T. F.; Gash, A. E.; Fox, G. A.; Satcher, J. H.; Hrubesh, L. W. InHandbook of Porous Solids; Schuth, F., Sing, K. S., Weitkamp, J., Eds.; Wiley-VCH: Weinheim, Germany, 2002; p 2014.10.1002/9783527618286.ch26a ↗
26. Pierre A. C. · Chem. Rev. · 2002 · 102 · 424310.1021/cr0101306 ↗
27. Leskalä M. · Thin Solid Films · 2002 · 409 · 13810.1016/S0040-6090(02)00117-7 ↗
28. Kucheyev S. O. · J. Appl. Phys. Lett. · 2005 · 86 · 08310810.1063/1.1870122 ↗
29. Pellin M. J. · Catal. Lett. · 2005 · 102 · 12710.1007/s10562-005-5843-9 ↗
30. Chen P. · Nano Lett. · 2004 · 4 · 133310.1021/nl0494001 ↗
31. Rugge A. · Nano Lett. · 2003 · 3 · 129310.1021/nl034362r ↗
32. Baumann T. F. · Chem. Mater. · 2005 · 17 · 39510.1021/cm048800m ↗
33. Kucheyev S. O. · Appl. Phys. Lett. · 2006 · 88 · 10311710.1063/1.2182064 ↗
34. Fabreguette F. H. · Thin Solid Films · 2005 · 488 · 10310.1016/j.tsf.2005.04.114 ↗
35. Grubbs R. K. · Thin Solid Films · 2004 · 467 · 1610.1016/j.tsf.2004.02.099 ↗
36. Elam J. W. · Surf. Sci. · 2001 · 479 · 12110.1016/S0039-6028(01)00969-4 ↗
37. Warren A. · Int. J. Refractory Metals Hard Mater. · 1996 · 14 · 34510.1016/S0263-4368(96)00027-3 ↗