journal article·2008-02-01

Patterning Techniques for Mesostructured Films

Plinio Innocenzi, Tongjit Kidchob, Paolo Falcaro, Masahide Takahashi

Chemistry of Materials· Volume 20· Issue 3
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Abstract

Patterning mesostructured films is becoming an important area of research for its technological implications. Self-assembled mesoporous materials synthesized through templating of nano-objects offer, in fact, the possibility of hosting active organic molecules or nanoparticles, and several applications in photonics and microelectronics are now emerging. At the same time, new “unconventional” lithographic techniques are also available to design nano- or microscale patterned mesoporous structures. We discuss the recent developments of lithographic methods for patterning mesoporous materials; some applications and future trends are also envisaged in the present review.
Source: openalex_inverted_index · Quality: baseline

Research context

OpenAlex topics: Mesoporous Materials and Catalysis · Nanofabrication and Lithography Techniques · Block Copolymer Self-Assembly

SciVX discovery tags are terminology-based. OpenAlex topics are source-provided classifications.

Affiliations

DAP, Laboratorio di Scienza dei Materiali e Nanotecnologie, CR-INSTM and Nanoworld Institute, Università di Sassari, Palazzo Pou Salid, Piazza Duomo 6, 07041 Alghero (Sassari), Italy, and Associazione CIVEN—Nano Fabrication Facility, Via delle Industrie 9, 30175 Marghera, Venezia, Italy

References (71)

Show source-provided references
1. Soler-Illia G. J. A. · Curr. Opin. Colloid Interface Sci. · 2003 · 8 · 10910.1016/S1359-0294(03)00002-5 ↗
2. Antonietti M. · Chem.—Eur. J. · 2004 · 10 · 2910.1002/chem.200305009 ↗
3. Grosso D. · Adv. Funct. Mater. · 2004 · 14 · 30910.1002/adfm.200305036 ↗
4. Smarsly B. · Eur. J. Inorg. Chem. · 2006 · 6 · 111110.1002/ejic.200501003 ↗
5. Soler-Illia G. J. A. · Chem. Rev. · 2002 · 102 · 409310.1021/cr0200062 ↗
6. Brinker C. J. · Curr. Opin. Colloid Interface Sci. · 2006 · 11 · 12610.1016/j.cocis.2005.10.006 ↗
7. Nicole L. · J. Mater. Chem. · 2005 · 15 · 359810.1039/b506072a ↗
8. Soler-Illia G. J. A. · Chem.—Eur. J. · 2006 · 12 · 447810.1002/chem.200500801 ↗
9. Fan H. · Nat. Mater. · 2007 · 6 · 41810.1038/nmat1913 ↗
10. Ogawa M. · Microporous Mesoporous Mater. · 2000 · 38 · 3510.1016/S1387-1811(99)00297-8 ↗
11. Doshi D. A. · J. Am. Chem. Soc. · 2003 · 125 · 1164610.1021/ja0295523 ↗
12. Lu Y. F. · Nature · 1997 · 389 · 36410.1038/38699 ↗
13. Falcaro P. · J. Am. Chem. Soc. · 2005 · 127 · 383810.1021/ja0427956 ↗
14. Falcaro P. · J. Phys. Chem. B · 2004 · 108 · 1094210.1021/jp037740p ↗
15. Hayward R. C. · Langmuir · 2004 · 20 · 599810.1021/la030442z ↗
16. Gates B. D. · Chem. Rev. · 2005 · 105 · 117110.1021/cr030076o ↗
17. Minne S. C. · J. Vac. Sci. Technol. B · 1995 · 13 · 138010.1116/1.587857 ↗
18. Gao L. J. · Adv. Mater. · 2007 · 19 · 49510.1002/adma.200600882 ↗
19. Xia Y. · Angew. Chem., Int. Ed. · 1998 · 37 · 55010.1002/(SICI)1521-3773(19980316)37:5<550::AID-ANIE550>3.0.CO;2-G ↗
20. Kim E. · Nature · 1995 · 376 · 58110.1038/376581a0 ↗
21. Kim E. · J. Am. Chem. Soc. · 1996 · 118 · 572210.1021/ja960151v ↗
22. Xia Y. · Chem. Rev. · 1999 · 99 · 182310.1021/cr980002q ↗
23. Wirnsberger G. · J. Phys. Chem. B · 2001 · 105 · 630710.1021/jp010958w ↗
24. Yang P. · Science · 2000 · 287 · 46510.1126/science.287.5452.465 ↗
25. Konjhodzic D. · Thin Solid Films · 2006 · 495 · 33310.1016/j.tsf.2005.08.223 ↗
26. Falcaro P. · J. Phys. Chem. B · 2004 · 108 · 1094210.1021/jp037740p ↗
27. Innocenzi P. · J. Non-Cryst. Solids · 1996 · 201 · 2610.1016/0022-3093(95)00620-6 ↗
28. Scott B. J. · Adv. Mater. · 2001 · 13 · 123110.1002/1521-4095(200108)13:16<1231::AID-ADMA1231>3.0.CO;2-8 ↗
29. Zheng G. · Chem. Mater. · 2001 · 13 · 224010.1021/cm0009726 ↗
30. Trau M. · Nature · 1997 · 390 · 67410.1038/37764 ↗
31. Doshi D. A. · Science · 2000 · 290 · 10710.1126/science.290.5489.107 ↗
32. Lu Y. · Nature · 2001 · 410 · 91310.1038/35073544 ↗
33. Innocenzi P. · J. Synchrotron Radiat. · 2005 · 12 · 73410.1107/S0909049505014585 ↗
34. Clark T. · Chem. Mater. · 2000 · 12 · 387910.1021/cm000456f ↗
35. Dattelbaum A. M. · Nano Lett. · 2003 · 3 · 71910.1021/nl0341279 ↗
36. Dattelbaum A. M. · J. Phys. Chem. B · 2005 · 109 · 1455110.1021/jp051401+ ↗
37. Berquier J.-M. · J. Sol−Gel Sci. Technol. · 2000 · 19 · 8310.1023/A:1008766322651 ↗
38. Wang J. · Adv. Mater. · 2004 · 14 · 409
39. Cagnol F. · J. Mater. Chem. · 2003 · 13 · 6110.1039/b209640b ↗
40. Malfatti L. · Chem. Mater. · 2006 · 18 · 455310.1021/cm060236n ↗
41. Cerrina F. · J. Phys. D: Appl. Phys. · 2000 · 33 · R10310.1088/0022-3727/33/12/201 ↗
42. Wu C.-W. · Nanotechnology · 2004 · 15 · 188610.1088/0957-4484/15/12/035 ↗
43. Fan H. · Nature · 2000 · 405 · 5610.1038/35011026 ↗
44. Fan H. · Microporous Mesoporous Mater. · 2001 · 44 · 62510.1016/S1387-1811(01)00243-8 ↗
45. Mougenot M. · J. Am. Ceram. Soc. · 2006 · 89 · 187610.1111/j.1551-2916.2006.01048.x ↗
46. Piner R. · Science · 1999 · 283 · 66110.1126/science.283.5402.661 ↗
47. Hong S. · Science · 1999 · 286 · 52310.1126/science.286.5439.523 ↗
48. Hong S. · Science · 1999 · 288 · 180810.1126/science.288.5472.1808 ↗
49. Salaita K. · Nat. Nanotechnol. · 2007 · 2 · 14510.1038/nnano.2007.39 ↗
50. Su M. · J. Am. Chem. Soc. · 2002 · 124 · 156010.1021/ja012502y ↗
51. Tender L. M. · Langmuir · 1999 · 12 · 551510.1021/la960627o ↗
52. Innocenzi P. · J. Phys. Chem. B · 2006 · 110 · 1083710.1021/jp060097x ↗
53. Innocenzi P. · J. Phys. Chem. C · 2007 · 111 · 534510.1021/jp066566c ↗
54. Frink D. · J. Chem. Phys. · 1999 · 110 · 596910.1063/1.478497 ↗
55. Yang H. · Adv. Mater. · 1997 · 9 · 81110.1002/adma.19970091010 ↗
56. Hozumi A. · Langmuir · 2007 · 23 · 326510.1021/la061405l ↗
57. Hozumi A. · J. Vac. Sci. Technol. A · 2006 · 24 · 149410.1116/1.2187986 ↗
58. Li M. Q. · Adv. Polym. Sci. (Block Copolymers II) · 2005 · 190 · 18310.1007/12_003 ↗
59. Mansky P. · Macromolecules · 1998 · 31 · 439910.1021/ma980299u ↗
60. Lin Z. Q. · Adv. Mater. · 2002 · 14 · 137310.1002/1521-4095(20021002)14:19<1373::AID-ADMA1373>3.0.CO;2-F ↗
61. Sundarajan N. · Chem. Mater. · 2000 · 12 · 4110.1021/cm9902467 ↗
62. Pai A. P. · Science · 2004 · 303 · 50710.1126/science.1092627 ↗
63. De Theije F. K. · J. Phys. Chem. B · 2003 · 107 · 428010.1021/jp027701y ↗
64. Yokokawa Y. · J. Macromech. Macroeng. · 2004 · 14 · 681
65. Paik J.-A. · J. Mater. Res. · 2002 · 17 · 212110.1557/JMR.2002.0313 ↗
66. Jeong H.-K. · Ind. Eng. Chem. Res. · 2005 · 44 · 893310.1021/ie050809q ↗
67. Gerung H. · J. Vac. Sci. Technol. A · 2005 · 12 · 34710.1116/1.1865154 ↗
68. Fisher A. · Small · 2006 · 2 · 56910.1002/smll.200500333 ↗
69. Angelomé P. C. · Adv. Mater. · 2006 · 18 · 239710.1002/adma.200600439 ↗
70. Fuertes M. C. · Adv. Funct. Mater. · 2007 · 17 · 124710.1002/adfm.200601190 ↗
71. Choi S. Y. · Nano Lett. · 2006 · 6 · 245610.1021/nl061580m ↗